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赵泽宇

作品数：305 被引量：46H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 276篇专利
  • 18篇期刊文章
  • 8篇会议论文
  • 2篇科技成果
  • 1篇学位论文

领域

  • 70篇电子电信
  • 19篇理学
  • 17篇机械工程
  • 7篇自动化与计算...
  • 6篇一般工业技术
  • 4篇文化科学
  • 2篇电气工程
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 110篇光刻
  • 64篇掩模
  • 51篇超分辨
  • 43篇波长
  • 33篇等离子体
  • 31篇衍射
  • 31篇刻蚀
  • 28篇天线
  • 25篇表面等离子体
  • 24篇纳米
  • 23篇金属
  • 22篇亚波长
  • 22篇掩模版
  • 21篇感光
  • 21篇成像
  • 20篇光刻胶
  • 19篇透镜
  • 19篇光栅
  • 17篇多层膜
  • 12篇膜层

机构

  • 305篇中国科学院
  • 8篇电子科技大学
  • 4篇中国科学院大...
  • 3篇吉林大学
  • 3篇西昌学院
  • 2篇西安交通大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 305篇赵泽宇
  • 276篇罗先刚
  • 106篇王长涛
  • 85篇王彦钦
  • 73篇马晓亮
  • 68篇黄成
  • 68篇蒲明博
  • 67篇高平
  • 63篇刘凯鹏
  • 62篇罗云飞
  • 60篇李雄
  • 45篇胡承刚
  • 39篇冯沁
  • 39篇杨磊磊
  • 36篇陶兴
  • 33篇崔建华
  • 29篇刘玲
  • 27篇蒲明薄
  • 25篇姚纳
  • 22篇王炯

传媒

  • 6篇光电工程
  • 4篇物理学报
  • 2篇中国激光
  • 2篇第五届全国光...
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇科学通报
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇中国光学
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 36篇2025
  • 20篇2024
  • 33篇2023
  • 25篇2022
  • 7篇2021
  • 9篇2020
  • 5篇2019
  • 12篇2018
  • 11篇2017
  • 16篇2016
  • 9篇2015
  • 17篇2014
  • 23篇2013
  • 23篇2012
  • 5篇2011
  • 14篇2010
  • 10篇2009
  • 7篇2008
  • 1篇2007
  • 7篇2006
共 305 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法
本发明公开了一种波导共振耦合表面等离子体光场的激发和调控方法，采用器件主要由透明基底、纳米结构层和波导共振多层膜构成。对于确定波长的平面波照射透明基底，透明基底上的纳米结构层将照明平面波衍射为各级次平面波。利用波导共振多...
罗先刚王长涛赵泽宇王彦钦姚纳胡承刚蒲明薄王炯刘利芹杨磊磊
文献传递
电子束邻近效应和刻蚀负载效应联合校正方法及掩模版
本公开提供一种电子束邻近效应和刻蚀负载效应联合校正方法及掩模版，涉及半导体制造技术领域。电子束邻近效应和刻蚀负载效应联合校正方法包括：基于电子束邻近效应对待校正版图进行校正，得到第一校正版图，第一校正版图为对待校正版图补...
罗先刚徐建东高平赵博文张涛赵泽宇
一种动态可调的多频电磁吸波材料
本发明提供一种动态可调的多频电磁吸波材料，该材料自下而上依次包括：底层金属反射层，介质间隔层以及顶层金属亚波长结构阵列。所述介质间隔层所用材料为GST相变材料，本发明通过电激发、光激发或热激发的方式改变GST材料的晶态(...
罗先刚马晓亮蒲明博赵泽宇王彦钦李雄高平
文献传递
一种低互耦的沟槽阵列天线
一种低互耦的沟槽阵列天线，其基本原理是通过在相邻阵列单元的两边对称加载一对表面沟槽结构，来调制表面波的传播，并改变表面电磁能量的分布，使得阵元间的能量窜扰迅速地降低。此外部分表面电磁能量在SPs沟槽结构的散射下向自由空间...
赵泽宇黄成冯沁崔建华罗先刚
文献传递
微纳结构反射镜加工方法、系统和微纳结构反射镜
本申请提供了一种微纳结构反射镜加工方法、系统和微纳结构反射镜，其中，该方法可以包括：对初始镜结构的镜面进行处理，获得初始镜片；其中，所述初始镜片的镜面的面形达到第一设定阈值；在所述初始镜片的第一面镀反射膜，获得初始反射镜...
罗先刚王炯马晓亮赵泽宇罗军
一种双波段激光低反射的多功能材料结构
本发明提供了一种双波段激光低反射的多功能材料结构，包括超表面和微波吸收器。超表面为包含两种不同尺寸单元结构的双台阶结构，当双波段激光入射到超表面后，电磁波波前将被调制，使得反射光被散射至四个非镜面方向以减少回波信号，实现...
罗先刚蒲明博李雄马晓亮赵泽宇张飞冯兴东龚锦涛
采用电磁带隙结构和金属网格结构相结合的高方向性天线的设计方法
采用电磁带隙结构和金属网格结构相结合的高方向性天线的设计方法，首先确定天线的工作波段及其中心波长λ；设计电磁带隙结构，由接地板，介质基板，金属贴片，金属过孔组成，金属贴片跟接地板间由金属过孔连接，金属过孔周围填充介质基板...
杜春雷徐慧梁罗先刚赵泽宇
文献传递
光刻胶组合物及其应用
本公开提供了一种光刻胶组合物，包括：化学放大基体，化学放大基体包括聚合物树脂、光致酸产生剂和溶剂；溶解抑制剂，为包含重氮萘醌结构的小分子材料。本公开还提供了该光刻胶组合物的应用。本公开的光刻胶组合物通过加入具有重氮萘醌结...
罗先刚杨东旭彭献苏凯欣赵泽宇高平王长涛
文献传递
应用于超分辨光刻的掩模版图及其边界优化方法
本公开提供了一种应用于超分辨光刻的掩模版图及其边界优化方法，涉及集成电路制造技术领域，边界优化方法包括：获取掩模版图的图形边界信息，其中，图形边界为掩模版图中图形区域与非图形区域的边界；对掩模版图进行正向仿真和伴随仿真，...
罗先刚孔维杰尹格李宣宣高平赵泽宇王长涛
二次成像光学光刻方法和设备
本公开提出了一种二次成像光学光刻方法和设备。所述二次成像光学光刻方法包括：将光刻掩模板与柔性透明转移衬底紧密接触；用第一光源通过所述光刻掩模板照射所述柔性透明转移衬底的感光层，以将所述光刻掩模板的图案转移到所述柔性透明转...
罗先刚王长涛王彦钦孔维杰高平赵泽宇
文献传递
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