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曲东开
作品数:
1
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供职机构:
哈尔滨工业大学机电工程学院机器人研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张涛
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
刘品宽
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
蔡鹤阜
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
孙立宁
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
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张涛
年份
1篇
2000
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纳米级微驱动机器人系统
孙立宁
蔡鹤阜
张涛
曲东开
刘品宽
该成果完成了机构、驱动、检测一体化的微驱动机器人四套,达到运动范围10μm、50μm、100μm、200μm;运动精度5nm、25nm、50nm、100nm;运动分辨率0.5nm、2.5nm、5nm、10nm。采用线切割...
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