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徐定能

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：昆明理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇阻断
  • 1篇基片
  • 1篇溅射
  • 1篇靶材
  • 1篇磁控溅射靶

机构

  • 1篇昆明理工大学

作者

  • 1篇孟彬
  • 1篇徐定能
  • 1篇孔明
  • 1篇刘肖肖

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种磁控溅射靶罩
本实用新型涉及一种磁控溅射靶罩，属于高真空磁控溅射镀膜领域。在磁控溅射靶上安装有可调节高度的磁控溅射靶罩，磁控溅射靶罩的上端开口，开口端对准沉积基片。磁控溅射靶和沉积基片放置在溅射室内，溅射室上有可以观察溅射情况的观察窗...
孟彬孔明刘肖肖徐定能
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