高海军
- 作品数：32 被引量：67H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程电气工程金属学及工艺更多>>
- 飞行光学聚焦特性自适应控制及光刻机工件台掩模台技术方案
- 飞行光学聚焦特性自适应控制主要是从事中国科学院仪器研制项目'激光光束质量控制仪'的研制,从理论和实验上解决飞行光学聚焦特性的控制问题.该论文第2-5章为飞行光学聚焦特性自适应控制.论文在理论上对飞行光学聚焦特性(包括实际...
- 高海军
- 关键词：变形镜工件台
- 文献传递
- 反应堆抽运Xe激光多折腔研究
- 2002年
- 针对反应堆抽运激光(RPL),介绍了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的谐振腔。在俘获放能介质于腔内均匀分布的情况下,给出了激光器的匹配设计要素和裂变反应能在腔内的沉积,提供了该腔型耦合优化的模拟方法,为较大规模的RPL实验提供了理论依据。
- 谌巍程兆谷黄惠杰高海军万俊生
- 关键词：RPL
- 自适应变形镜激光应用技术被引量：1
- 2003年
- 自适应变形镜技术在激光加工、激光发射和远距离输运、聚焦系统等方面的应用正日益受到重视,不断发展。它是激光光束质量和聚焦特性自适应控制的关键技术。本文着重论述高功率强激光加工中自适应变形镜技术及其对"飞行光学"聚焦特性控制的新技术。
- 黄英奇程兆谷赵全忠高海军谌巍柴雄良
- 关键词：致动器反射镜激光加工
- 自适应控制飞行光学聚焦特性
- 2003年
- 在对高阶模飞行光学聚焦特性进行研究的基础上,提出了应用自适应飞行光学聚焦系统来解决飞行光学聚焦特性的问题,对自适应飞行光学聚焦系统的调节特性进行了数值模拟,结果表明该系统能够实现对长距离飞行光学激光加工过程中焦点位置与焦斑大小的控制。
- 赵全忠程兆谷高海军
- 关键词：自适应控制光束质量因子
- 激光在高压检测设备中的应用被引量：2
- 2003年
- 描述了一种用激光光源驱动的光电式电流互感器 ,它由四部分组成 :第一部分是传感头 ,它将被测电流信号转换成频率调制信号 ;第二部分是光纤传输和光电转换器 ,从传感头输出的频率调制信号驱动装在高压端的发光二极管 ,进而转换成光脉冲信号 ;第三部分是信号处理电路 ,把调频信号还原成被测电流 ;第四部分是工作电源 ,它通过光电池提供积分电路和压频转换器的工作电压。
- 柴雄良程兆谷高海军陈邦栋董增平李锋
- 关键词：激光电力系统光纤光电式电流互感器信号处理电路
- 与光电倍增管大光敏面匹配的大数值孔径的散射光聚光镜
- 一种与光电倍增管大光敏面匹配的大数值孔径的散射光聚光镜。本发明由第一平凸透镜和第二平凸透镜的凸面相对，并固定在套筒内而构成。所述的透镜采用高折射率材料制成。本发明散射光聚光镜应用于倾斜入射激光扫描散射检测中，具有工作距离...
- 程兆谷高海军张志平曾爱军
- 文献传递
- 倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪
- 一种倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪，其构成是：在所述的激光光源组件发出的光束前进的方向上，依次有双凹透镜和平凸透镜组成的扩束系统，双胶合聚焦透镜，光束经平面反射镜转折且聚焦倾斜入射在被测量硅片表面，硅片位于工作台上；...
- 程兆谷高海军覃兆宇张志平黄惠杰钱红斌
- 文献传递
- 硅片表面球形粒子散射研究被引量：7
- 2006年
- 为求解硅片表面微小粒子在任意线偏振平面入射光照射下的散射光光强分布,选择了基于Mie散射的杨氏模型为依据,推导了该模型下散射光强空间分布的计算方法,并给出了0.54μm球形粒子在垂直、倾斜入射下光强空间分布的模拟计算结果,以及入射平面第一象限内散射光强与国外已发表实验结果的比较·
- 曹楷程兆谷高海军
- 关键词：硅片散射微分散射截面
- 光刻机定位双频激光干涉仪
- 程兆谷高海军黄惠杰宁志高
- 双频激光干涉仪以其特有的大测量范围、高分辨率和高测量精度等优点，在精密和超精密测量领域获得了广泛的应用。特别是用在光刻机工件台的定位检测上，其地位更是其它的测量工具所不能替代的。
- 关键词：
- 关键词：双频激光干涉仪光刻机
- 双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置
- 一种双频激光干涉仪测量速度的自由落体测量装置，包括一双频激光器，在该激光器的输出光路上设置一偏振分光镜，该偏振分光镜的分光面与激光器的输出光路成45°，在该偏振分光镜透射光方向是一固定角锥棱镜，反射光方向是一移动角锥棱镜...
- 程兆谷高海军
- 文献传递
