尚海
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 1维微纳米周期结构的散射测量建模
- 2016年
- 为了研究散射测量的正向测量依据,采用严格耦合波分析理论,对1维矩形面型周期性结构衍射建模,在MATLAB环境下实现严格耦合波分析算法,并讨论了1维周期结构高度、线宽和占空比的测量特性,理论上线宽的测量可以达到纳米级分辨率。结果表明,严格耦合波分析理论精确和高效,对1维微纳米周期结构表现出了良好的测量特性。这为散射测量提供了科学性和可行性依据。
- 尚海党学明
- 关键词：散射光栅
- 基于严格耦合波理论的散射场显微镜建模与分析
- 半导体和微机电等产业的迅速发展都对研发出能提高并打破常规衍射极限的光学显微技术以满足测量需求提出了迫切的要求。散射场显微测量技术是目前世界临界尺寸测量研究的热点，主要解决半导体加工、微机电等行业在线、非接触、快速尺寸测量...
- 尚海
- 关键词：显微镜
- 基于计算机摄像头的图像采集和变换的设计
- 2013年
- 本文所讨论图像采集系统采用VC 6.0以及VFW(video for Windows)来编程,可以实现图像采集以及实时图像处理。本图像变换主要为了实现图像的平移、缩放、旋转、镜像等变换。为了实现实时处理,程序中设置了视频预览回调函数,将图像算法以及图像显示放在了回调函数当中。
- 李松柏尚海
- 关键词：图像采集图像变换实时图像处理VFW回调函数
