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刘岩

作品数：2 被引量：15H指数：2
供职机构：黑龙江广播电视大学更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇微加工
  • 2篇微加工技术
  • 1篇氮化硅
  • 1篇氮化硅薄膜
  • 1篇电路
  • 1篇微型传感器
  • 1篇聚二甲基
  • 1篇聚二甲基硅氧...
  • 1篇集成电路
  • 1篇甲基
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇二甲基
  • 1篇二甲基硅氧烷
  • 1篇感器
  • 1篇PDMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 2篇黑龙江广播电...

作者

  • 2篇谭久彬
  • 2篇刘岩
  • 2篇金鹏

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
PDMS微小流路微加工技术的研究被引量：13
2001年
PDMS(Polydimethylsiloxane ,聚二甲基硅氧烷 )微小流路的微加工技术 ,由于具有加工周期短 ,加工成本低 ,可进行批量生产 ,易获得高深宽比的微小结构等特点 ,日益成为微小流路加工技术中一个研究热点。对PDMS微小流路的特性进行了分析 ,实验结果表明 ,该方法完全适用于 μTAS系统及其他生物化学分析仪器中微小流路的加工。
金鹏谭久彬刘岩
关键词：集成电路微加工技术聚二甲基硅氧烷
微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术被引量：2
2001年
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3 N4 薄膜沉积技术及Si3 N4 薄膜基于剥离 (lift-off)技术的微加工技术。
金鹏谭久彬刘岩
关键词：微型传感器氮化硅薄膜微加工技术
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共1页<1>
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