您的位置： 专家智库 > >

郝茂盛

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 2篇氮化镓
  • 2篇氮化镓基材料
  • 2篇倒装
  • 2篇倒装结构
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇四氯化硅
  • 2篇氯化
  • 2篇氯化硅
  • 2篇激光
  • 2篇激光剥离
  • 2篇光效
  • 2篇光效率
  • 2篇出光
  • 2篇出光效率

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇陈诚
  • 2篇孙永健
  • 2篇潘尧波
  • 2篇郝茂盛
  • 2篇张国义
  • 2篇邓俊静
  • 2篇齐胜利
  • 2篇颜建锋
  • 2篇朱广敏
  • 2篇李士涛
  • 2篇陈志忠

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
氮化镓基材料激光剥离后氮面的处理方法
本发明提供了一种氮化镓基材料激光剥离后氮面的处理方法，先用盐酸溶液浸泡去除金属镓，然后依次进行反应气氛为氮气或惰性气体的ICP预处理，反应气氛为氯气、四氯化硅和氩气的ICP处理，以及反应气氛为氧气和三氟甲烷的ICP后处理...
齐胜利陈志忠孙永健张国义郝茂盛潘尧波邓俊静颜建锋朱广敏陈诚李士涛
氮化镓基材料激光剥离后氮面的处理方法
本发明提供了一种氮化镓基材料激光剥离后氮面的处理方法，先用盐酸溶液浸泡去除金属镓，然后依次进行反应气氛为氮气或惰性气体的ICP预处理，反应气氛为氯气、四氯化硅和氩气的ICP处理，以及反应气氛为氧气和三氟甲烷的ICP后处理...
齐胜利陈志忠孙永健张国义郝茂盛潘尧波邓俊静颜建锋朱广敏陈诚李士涛
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0