熊怀
- 作品数：20 被引量：30H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院战略性先导科技专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
- 一种制备玻璃管外壁减反膜的喷涂方法
- 一种制备玻璃管外壁减反膜的喷涂方法，室温下将成膜后折射率为1.2‑1.42的二氧化硅喷涂液置于连接空气喷枪的压力桶内，将玻璃管两端水平固定在转动轴上使玻璃管绕玻璃管中心轴转动，喷枪固定在玻璃管上方电动杆滑块的支架上，在伺...
- 熊怀唐永兴陈知亚
- 文献传递
- 基于溶胶凝胶法的二氧化硅减反膜表面改性方法
- 本发明公开了一种基于溶胶凝胶法二氧化硅减反膜的表面改性方法，用含硅甲基疏水基团的硅烷偶联剂预聚体涂布在玻璃基底的二氧化硅减反膜的表面，热处理后硅烷偶联剂预聚体薄层对二氧化硅减反膜的表面形成覆盖。本发明通过覆盖硅烷偶联剂预...
- 熊怀唐永兴胡丽丽李海元
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- 激光玻璃低温键合包边方法
- 一种采用增透膜作为无机粘剂的激光玻璃低温键合包边方法，采用激光玻璃和掺Cu<Sup>2+</Sup>的包边玻璃，激光玻璃的侧面和包边玻璃侧面均研磨抛光，并清洁。在激光玻璃和包边玻璃的侧面各镀一层有增透性质的薄膜，此薄膜的...
- 朱健强王冰艳尤科伟李海元熊怀陈知亚梁海荣张艳丽
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- 米级光栅玻璃光刻胶精密涂覆方法
- 本发明公开了一种米级光栅玻璃高均匀性光刻胶精密涂覆方法，包括步骤：准备好光刻胶→将光刻胶投入压力罐→利用压缩空气将压力罐内的光刻胶从喷枪喷嘴中喷出→往复喷涂在米级光栅玻璃上形成湿膜→旋转米级光栅玻璃进行甩胶→进烘箱烘干。...
- 熊怀唐永兴沈斌陈知亚
- 文献传递
- 溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文)被引量：1
- 2010年
- 以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。
- 李海元熊怀唐永兴胡丽丽
- 关键词：溶胶-凝胶
- 方形基片旋涂法镀疏水性二氧化硅减反膜(英文)
- 2012年
- 在方形基片上通过旋涂法制备了疏水性膜层。研究了减小几何效应和伯努利效应对膜层均匀性的影响。结果表明,疏水性氧化硅溶胶具有良好的稳定性。疏水性氧化硅膜层即使不进行热处理也有良好的防潮性能。在室温下和超过90%相对湿度环境下的膜层透过率分别达到99.5%和99%,水接触角分别达到1 36°和139°。关于改性溶胶,刚制备完成测得的平均粒度是35.27 nm,放置50天后测得的平均粒度是37.15 nm。
- 沈斌李海元熊怀唐永兴
- 关键词：溶胶-凝胶减反膜疏水性旋涂法
- 三倍频多孔SiO_(2)减反膜表面包覆研究
- 2025年
- 涂制多孔SiO_(2)减反膜的大口径光学元件是大型高功率激光装置中的重要组成部分,并且对三倍频多孔SiO_(2)减反膜的凃制需求尤甚。针对装置运行过程中常见的有机污染物及水分子对膜层的影响,通过表面包覆工艺制备了优化的三倍频多孔SiO_(2)减反膜(3AR+5MR),并将其与采用传统的氨水及六甲基二硅氨烷化学气氛处理工艺制备的三倍频多孔SiO_(2)减反膜(3AR)进行了性能对比。结果表明:对于3AR+5MR膜层,其初始透过率峰值大于99.5%@370 nm,利用1-on-1方法测试得到的零概率激光损伤阈值为18.9 J/cm^(2)(355 nm,8.8 ns),表面粗糙度为9 nm,水膜接触角达到近120°,各项性能均与传统的3AR膜层相当;在耐污抗湿能力方面,3AR+5MR膜层的性能稳定性优于3AR膜层,各项基础性能退化得较慢;3AR+5MR膜层的制备效率较3AR膜层有显著提升,可以满足新建高功率激光装置对溶胶凝胶SiO_(2)减反膜元件产能提质增效的需求。
- 沈斌李海元李海元谢兴龙熊怀
- 关键词：溶胶凝胶减反膜三倍频
- Sol-Gel法制备KDP晶体SiO_2基防潮减反膜被引量：2
- 2010年
- 在高功率激光装置中3倍频器高氘化的KD*P晶体相变温度是110℃。在SiO2溶胶合成阶段进行化学改性,将六甲基二硅氮烷(HMDS)加入SiO2溶胶进行化学改性,用非极性溶剂替代乙醇溶剂,涂制的减反膜不需要热处理就可能应用于KDP与KD*P晶体中。单层的改性防潮增透膜的透过率大于99%,膜层均匀性良好,改性膜层本身具有一定的防潮功能,水接触角142o,膜层激光破坏阈值约16.9J/cm2,有希望应用于高功率激光系统的KDP类晶体。
- 熊怀李海元唐永兴
- 关键词：SOL-GEL法
- 溶胶凝胶ZrO_(2)/SiO_(2)宽带减反膜的制备与性能被引量：2
- 2023年
- 采用溶胶凝胶法制备得到以正丙醇锆和正硅酸乙酯为前驱体的ZrO_(2)和SiO_(2)溶胶,通过TFCalc光学薄膜软件模拟了ZrO_(2)/SiO_(2)三层“宽M型”基频二倍频减反膜,并使用提拉法制备得到了该均匀膜层。三层减反膜在527 nm和1053 nm处的透过率约为99.5%,且透过率大于99%的波长范围均超过150 nm。经热处理后的膜层表面均方根粗糙度为1.34 nm,表面平整性良好;并运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该减反膜的零几率激光损伤阈值达到36.8 J·cm^(-2)(1064 nm,10.7 ns)。
- 沈斌张旭张旭熊怀李海元
- 关键词：溶胶凝胶减反膜双波长
- 磷酸盐激光玻璃凝胶防潮膜和减反膜
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶方法制备（CH3）2Si（OC2H5）2预聚体涂膜液以及掺入SiO2悬胶体涂膜液改性，采用旋转法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制防潮膜，热处理后膜层固化。SiO2改性的CH3O防潮膜，热处理后的膜层耐摩擦性能明显改善。然后旋转涂制第二层多空性SiO2减反膜，涂膜胶体通过硅酸乙脂碱催化水解缩聚制得，减反膜的折射率为约1．25，玻璃棒涂膜后激光波长1053nm减少表面反射率6．5％-7．5％，双层膜激光破坏阈值12J／cm^2，1053nm／1ns，膜层表面粗糙度（RMS）2．523nm。直径20—70mm长380mm的玻璃棒涂膜后，在高功率激光装置制中使用期为5年。
- 唐永兴熊怀李海元刘瑞军
- 关键词：溶胶-凝胶有机硅
