马青松
- 作品数：6 被引量：13H指数：2
- 供职机构：西安交通大学材料科学与工程学院金属材料强度国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
- 磁控溅射和脉冲直流化学气相沉积Ti-Si-N薄膜摩擦磨损性能对比研究被引量：2
- 2004年
- 分别利用磁控溅射和脉冲直流化学气相沉积(PCVD)技术制备了Ti-Si-N薄膜,测定了2种Ti-Si-N薄膜的显微硬度,并采用球-盘式高温摩擦磨损试验机对比考察了其高温摩擦磨损性能.结果表明,当薄膜中Si含量(原子分数)约为10%时,2种薄膜的显微硬度达到最大值;2种Ti-Si-N薄膜的耐磨性能同其硬度之间不存在对应关系,其中采用PCVD方法制备的Ti-Si-N薄膜的高温抗磨性能较优;2种薄膜在高温下的摩擦系数均有所降低,这归因于高温下氧化膜的润滑作用.
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- 关键词：磁控溅射摩擦磨损性能
- 脉冲直流PCVD在复杂型腔内表面沉积Ti-Si-N薄膜的研究
- 用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术在盲孔的底部和狭缝内侧壁获得Ti-Si-N薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能量色散谱仪(EDX)、X射线衍射谱仪(XRD)、球痕法(ball-crater)和显微...
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- 关键词：TI-SI-N复杂型腔
- 文献传递
- 脉冲直流PCVD技术在盲孔底部沉积Ti-Si-N薄膜被引量：7
- 2005年
- 用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术在盲孔的底部获得Ti-Si-N薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),X射线能量色散谱仪(EDX),X射线衍射仪(XRD),球痕法(ball-crater),显微硬度计(Hv)和涂层压入仪(Pc)分析不同盲孔深度处薄膜的微观结构和力学性能。结果表明,随着盲孔深度的增加,Ti-Si-N薄膜中Ti与Si元素相对比例降低,薄膜厚度下降,薄膜与基体的结合强度有很大提高,膜基复合显微硬度下降,而薄膜的本征硬度在盲孔深度为20mm处出现最大值。
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- 关键词：复杂型腔
- 用于机械工业的复合表面技术被引量：1
- 2003年
- 介绍了针对提高表面耐磨性能的现代表面工程技术的发展前景和方向,提出用复合表面技术来提高铝压铸模、冷压成型模及热锻模等工具寿命的方法,最后列举了形成复合结构镀层的类型及其应用于工业领域所带来的经济效益。
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- PCVD在狭缝内壁沉积Ti-Si-N薄膜的研究被引量：2
- 2004年
- 用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积 (PCVD)设备在狭缝的侧壁上沉积Ti Si N薄膜。经微观物相分析发现 ,在狭缝的侧壁上随着测试深度的增加 ,薄膜中Ti元素逐渐减少 ,Si含量增加 ,薄膜的相组成始终为nc TiN/Si3 N4。利用球痕法测定了各深度处薄膜的厚度 ,显微硬度仪测试了侧壁上深度不同位置处薄膜显微硬度。实验结果表明 ,随测试深度增加 ,薄膜厚度和显微硬度下降。
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- 关键词：薄膜厚度狭缝脉冲物相分析PCVD相组成
- 射频等离子体辅助化学气相沉积Ti-B-N薄膜的结构与性能被引量：2
- 2004年
- 研究了射频等离子体辅助化学气相沉积获得的Ti B N薄膜的微观组织结构和力学性能。结果表明 :B的加入使Ti B N薄膜中出现TiN纳米晶、BN非晶和TiB2 非晶 (nc TiN/a BN/a TiB2 )的复相结构。Ti B N薄膜组织致密 ,晶粒细小 ,薄膜硬度显著提高。用球盘式磨损实验考察了薄膜的摩擦学特性。与TiN相比 ,Ti B N薄膜抗磨损性能有显著提高 ,磨损机制为微观切削与疲劳磨损共同作用 。
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- 关键词：耐磨性
