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章红芳

作品数:1 被引量:4H指数:1
供职机构:杭州电子工业学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇应变层
  • 1篇晶格
  • 1篇光电
  • 1篇光电集成
  • 1篇SI
  • 1篇SOI材料
  • 1篇超晶格
  • 1篇X

机构

  • 1篇杭州电子工业...

作者

  • 1篇吕幼华
  • 1篇章红芳
  • 1篇张海鹏

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
Si_(1-x)Ge_x/SOI材料的基本性质与应用前景被引量:4
2004年
主要讨论了Si1-xGex/SOI材料的Si1-xGex应变层临界厚度、折射率增量、载流子迁移率、超晶格的线性电光效应、等离子色散效应等基本性质,比较了SOI、Si1-xGex/SOI光波导与石英光波导在光、光电集成方面的优势,简述了与体硅相比,SOI在VLSI应用方面的优越性及其在微电子领域的广泛应用。最后探讨了SiGe/SOI材料在光电集成和光集成领域的巨大应用前景。
张海鹏章红芳吕幼华
关键词:应变层光电集成超晶格
共1页<1>
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