李策
- 作品数：11 被引量：15H指数：3
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于微梁的面内高g值加速度计设计被引量：6
- 2014年
- 提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案。根据材料力学中悬臂梁的相关理论,建立了微梁检测结构的等效模型,推导出了微梁应力和中间主梁应力的比值的表达式。通过改变结构的尺寸来调节比值,可以设计出更高量程和更高灵敏度的压阻式传感器。利用ANSYS软件对微梁和中间主梁的最大应力及电阻区应力进行了仿真分析,验证了设计方案的可行性。完成了一种量程可达15万gn的面内双轴高g值传感器的设计。
- 李祥石云波董胜飞李策赵赟
- 关键词：高灵敏度MEMS
- 差分式MEMS面内加速度计设计被引量：5
- 2014年
- 设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。
- 董胜飞石云波周智君李策李祥
- 关键词：差分式
- 基于微梁检测结构的双轴MEMS面内高g传感器
- 本发明涉及一种能够实现水平向加速度测量的基于微梁检测结构的双轴MEMS面内高g传感器，包括硅基支撑框架和四个敏感结构，硅基支撑框架包括硅基边框和固连于硅基边框表面的中心处锚块；四个敏感结构均匀分布在中心处锚块四周，同一轴...
- 刘俊石云波唐军马宗敏郭涛李祥李策陈艳香杨志才
- 文献传递
- 无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法
- 本发明涉及加速度传感器，具体是一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有压阻式高量程加速度传感器适用范围受限的问题。无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，包括衬底、封闭空腔、第一悬臂梁...
- 石云波刘俊唐军马宗敏陈艳香李祥李策智丹
- 文献传递
- 高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法
- 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。本发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载...
- 石云波刘俊唐军马宗敏李策陈艳香智丹周智君董胜飞杨志才冯恒振
- 文献传递
- 高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法
- 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载能...
- 石云波刘俊唐军马宗敏李策陈艳香智丹周智君董胜飞杨志才冯恒振
- 基于FPGA的侵彻过程数据采集系统设计被引量：1
- 2016年
- 针对传统侵彻过程数据处理繁琐、采集效率低的不足,设计了一套基于FPGA的3轴高g值传感器数据解算自动采集系统。采用以XC3S400为主控单元,MATLAB-GUI作为上位机软件开发平台完成数据采集、解算。传感器产生电压信号经过主放大器INA827芯片,通过A/D转换器AD7934采样,将采样后信号存储到Flash中,经由FT2232C芯片通过USB传回计算机进行数据解算。通过实际测试验证,该系统不仅可以满足侵彻过程中数据的实时采集存储的要求,同时完成了侵彻过程数据处理解算。将数据采集与解算集成,提高了侵彻过程解算效率。
- 郝天琪崔建利李策张斌珍
- 关键词：FPGA侵彻MATLAB
- 灌封技术对MEMS高g加速度传感器性能影响研究被引量：3
- 2015年
- 针对恶劣环境下高频信号的干扰与由封装引起的结构失效,设计了一种MEMS高g加速度传感器,通过灌封实现机械滤波,保证封装的可靠性。根据传感器封装工艺,利用ANSYS软件建立有限元模型,仿真分析了灌封技术对传感器结构和性能。结果表明:灌封技术可提高传感器的高过载能力和输出灵敏度,灌封弹性模量相对较大、密度相对较小的灌封胶可提高传感器的高过载能力和灵敏度。
- 李策石云波刘欣
- 关键词：灌封模态频率灵敏度高过载
- 无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法
- 本发明涉及加速度传感器，具体是一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有压阻式高量程加速度传感器适用范围受限的问题。无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，包括衬底、封闭空腔、第一悬臂梁...
- 石云波刘俊唐军马宗敏陈艳香李祥李策智丹
- 基于MEMS工艺柔性电极制备与测试被引量：1
- 2016年
- 针对柔性技术对柔性可拉伸电极的需求,提出一种在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性衬底上制备具有周期为8μm"三角波"结构Ag薄膜电极的方法。采用MEMS工艺技术制作柔性电极模板,结合PDMS倒模、plasma表面修饰、磁控溅射金属Ag的方法,制备了可拉伸柔性电极。通过测量柔性电极的初始电阻值、阻值与柔性衬底拉伸形变量的关系以及柔性电极的拉伸极限,测试结果表明该方法实现了粘附性能好、初始阻值小、重复性可靠、电阻变化速率小、拉伸形变为65%的可拉伸柔性电极。同时该方法制备的柔性电极尺寸、周期等参数可控,应用领域得到延伸,可适应不同需求的柔性电极的制备。
- 崔建利李策郭浩陈艳香石云波
- 关键词：MEMS工艺PDMS
