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石刚
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
上海市基础研究重大(重点)项目
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
褚君浩
中国科学院上海技术物理研究所
石富文
中国科学院上海技术物理研究所
高文秀
中国科学院上海技术物理研究所
李亚军
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
胡古今
中国科学院上海技术物理研究所
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石刚
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1篇
2007
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原位退火对磁控溅射制备的ZnS薄膜微结构和发光性能的影响
被引量:5
2011年
采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了系列ZnS薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和荧光分光光度计研究了Ar气氛中300~500℃原位退火对薄膜微结构和发光性能的影响.结果表明,退火温度对ZnS薄膜的结晶性能和晶粒大小的影响不大,但会显著影响其发光特性.低温退火处理的薄膜的PL谱具有多个发光峰,而500℃退火的薄膜则表现为单一发光峰结构.PL谱的这种变化是由于退火引起ZnS薄膜中的缺陷种类和浓度变化所致.
石刚
李亚军
左少华
江锦春
胡古今
褚君浩
关键词:
ZNS薄膜
光致发光
磁控溅射
廉价多晶硅薄膜太阳电池
一种廉价多晶硅薄膜太阳电池,结构为背电极/衬底/制有P-N结的多晶硅薄膜/栅状上电极,在电池入射光表面有氮化硅减反射膜,其特征在于:在衬底和制有P-N结的多晶硅薄膜之间还有重掺P<Sup>+</Sup>层及阻挡衬底杂质向...
褚君浩
石刚
高文秀
石富文
文献传递
廉价多晶硅薄膜太阳电池
一种廉价多晶硅薄膜太阳电池,结构为背电极/衬底/制有P-N结的多晶硅薄膜/栅状上电极,在电池入射光表面有氮化硅减反射膜,其特征在于:在衬底和制有P-N结的多晶硅薄膜之间还有重掺P<Sup>+</Sup>层及阻挡衬底杂质向...
褚君浩
石刚
高文秀
石富文
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