杨艳
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 高取向PZT厚膜的0-3复合法制备
- 采用0-3复合法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了单层厚度0.9μm,总厚度10μm,并且无裂纹的Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3铁电薄膜.溶液中粉体的存在减小了加热时的体积收缩,降低了制备过程中膜内部...
- 陈超褚家如鲁健杨艳
- 关键词：复合法铁电薄膜X射线衍射介电常数
- 文献传递
- 高取向PZT厚膜的0-3复合法制备被引量：5
- 2003年
- 采用 0 3复合法 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上成功制备了单层厚度 0 .9μm ,总厚度 10 μm ,并且无裂纹的Pb(Zr0 .53,Ti0 .4 7)O3铁电薄膜。溶液中粉体的存在减小了加热时的体积收缩 ,降低了制备过程中膜内部产生的应力 ,从而使得单层厚度可达 0 .9μm ,防止了薄膜开裂。X射线衍射分析表明薄膜为单一钙钛矿相结构且结晶状态良好 ,采用已烧结的粉末时 ,薄膜呈〈110〉取向 ;扫描电子显微镜分析表明 ,薄膜表面无裂纹 ;介电性能测试结果显示 ,其相对介电常数可高达 115 0。为了研究粉末的状态和薄膜取向之间的关系 ,将未经烧结的未结晶的PZT粉末加入前驱溶液中 ,在相同的制备条件下 ,可得沿〈10
- 陈超褚家如鲁健杨艳
- 关键词：铁电材料PZT厚膜微机电系统
