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杨子仪
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脉冲激光扫描直接制备α-FeSi<Sub>2</Sub>薄膜的工艺
本发明公开了一种脉冲激光扫描直接制备α-FeSi<Sub>2</Sub>薄膜的工艺,涉及一种Fe-Si化合物,首先采用磁控溅射方法在Si基片上沉积一层厚度50-100nm的金属Fe膜,随后在空气中采用二极管泵浦激光器(N...
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