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俞娇仙
作品数:
50
被引量:112
H指数:5
供职机构:
山东大学
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山东省教育厅科技攻关项目
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张雷
山东大学
王国栋
山东大学
徐现刚
山东大学
修志亮
山东轻工业学院材料科学与工程学...
刘素文
山东轻工业学院材料科学与工程学...
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4篇
2007
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一种用于GaN生长单晶的衬底等离子体处理方法
本发明属于半导体制造技术领域,涉及一种用于GaN生长单晶的衬底等离子体处理方法。所述方法包括以下步骤:在衬底上沉积一层GaN薄膜;使用浓磷酸高温腐蚀GaN薄膜,得到多孔结构的GaN表面;在GaN表面溅射一层金属掩膜,而后...
邵慧慧
张爽
张雷
王守志
俞娇仙
王国栋
徐现刚
一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
本发明提供一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法,包括固定加热炉和括激光器、光束整形器、振镜系统和成像设备,固定加热炉用于固定、加热待剥离样品,激光器发出的激光依次经过光束整形器、振镜系统照射到待剥离样...
张雷
刘磊
张百涛
王国栋
叶帅
何京良
徐明升
俞娇仙
王守志
胡小波
徐现刚
化合物半导体的微结构调控及其光催化、气敏性能的研究
材料是人类生存和生活必不可少的部分,是人类文明的物质基础和先导。半导体材料的发现与利用,使人类进入了一个全新的发展阶段。利用半导体材料制成的各种器件已经被广泛的应用于我们的日常生活中,例如手机、电脑等。半导体材料由于具有...
俞娇仙
关键词:
纳米材料
化合物半导体
电子结构
光催化剂
非金属离子掺杂TiO_2的可见光光催化性能研究
被引量:3
2007年
具有廉价、环保的可见光响应光催化剂的研究开发是走向工业化的关键。非金属掺杂TiO_2是近几年发展起来的一种新型光催化剂,它可以使复合禁带宽度小于纯TiO_2的禁带宽度,使TiO_2的吸收边红移至可见光区。对可见光响应的非金属掺杂TiO_2光催化剂的研究进行了综述。
俞娇仙
刘素文
修志亮
于伟娜
冯光健
关键词:
非金属掺杂
可见光
光催化
一种在蓝宝石衬底上制备自支撑GaN单晶衬底的方法
本发明属于半导体光电材料制备技术领域,涉及一种在蓝宝石衬底上制备自支撑GaN单晶衬底的方法。在蓝宝石衬底上生长GaN之前,通过氢化物气相外延系统对蓝宝石衬底进行氮化形成高密度AlN<Sub>x</Sub>O<Sub>1‑...
张雷
齐占国
俞娇仙
王守志
王国栋
刘磊
一种切割不规则半导体晶体的预处理方法
本发明属于不规则多晶晶体加工技术领域,具体涉及一种切割不规则半导体晶体的预处理方法。该方法包括以下步骤:将模具加热后,用石蜡将模具内壁均匀涂覆,然后在空气中冷却至室温,石蜡完全凝固形成石蜡缓冲层;在模具内放入体块状晶锭,...
王守志
曹文豪
张雷
王国栋
俞娇仙
徐现刚
Al^(3+)/Bi_4Ti_3O_(12)薄膜的制备及其光催化性能表征
被引量:2
2007年
采用溶胶-凝胶法制备了掺Al3+的Bi4Ti3O12薄膜(Bi1-xAlxTi3O12)。采用分光光度法研究了薄膜对甲基橙溶液的降解,以及Al3+对薄膜的光催化效果影响。光催化结果表明,Al3+的掺杂量为2atm%时,薄膜的光催化效果最好,比未掺杂前提高57.9%,且吸收边红移量为36nm。
于伟娜
刘素文
修志亮
俞娇仙
关键词:
溶胶-凝胶法
光催化
BI4TI3O12
一种等离子体辅助抛光氮化镓单晶衬底的加工方法
本发明属于半导体晶体加工技术领域,具体涉及一种等离子体辅助抛光氮化镓单晶衬底的加工方法。所述方法中氮化镓单晶衬底依次经过研磨、精磨、等离子体清洗、等离子体辅助抛光技术,极大地提高GaN的加工效率,还不会产生亚表面损伤;其...
张雷
李秋波
王守志
王国栋
俞娇仙
徐现刚
一种减小AlN晶体加工时切割应力的方法
本发明涉及氮化铝晶体生长加工领域,具体涉及一种减小AlN晶体加工时切割应力的方法。所述方法为:将作为缓冲层的中空圆柱体和AlN晶体均通过石蜡粘接到金属板上;然后向中空圆柱体内灌注胶水,使胶水完全包裹晶体;胶水凝固后,将金...
张雷
曹文豪
王国栋
王守志
俞娇仙
刘光霞
徐现刚
一种氮化镓单晶衬底及制备方法
本发明属于半导体生长技术领域,提出了一种氮化镓单晶衬底及制备方法。GaN单晶衬底制备方法包括以下步骤:首先保证GaN晶圆表面洁净、无杂质污染,再放置于高温管式炉中进行退火处理,得到表面具有均匀孔隙分布的多孔GaN单晶。该...
吕松阳
张雷
王守志
邵慧慧
王国栋
俞娇仙
徐现刚
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