葛轶君
- 作品数：4 被引量：21H指数：2
- 供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 精密定位中的激光干涉测量误差分析被引量：16
- 2006年
- 高精度定位平台通常以激光干涉仪为测量基准。根据测量原理,激光干涉仪的测量误差应为定位平台误差的1/3-1/2,这样才能保证测量结果的可信性。为此,对影响激光干涉仪测量精度的诸多因素作了分析,并在分析的基础上进行误差计算。计算结果表明,激光干涉测量系统的综合误差为12.3 nm,满足定位平台的精度要求,二者在精度上能很好匹配。
- 程维明葛轶君
- 关键词：误差分析激光干涉仪
- 高精度位移测量的激光干涉仪分析
- 激光干涉测量技术作为高精度位移测量的光学计量方法之一,受到了广泛的关注.激光干涉仪具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点,在精密和超精密测长领域得到了广泛的应用.本文分析了单频激光干涉仪和双频激光干涉仪的特点.
- 葛轶君程维明
- 关键词：激光干涉仪误差分析光学计量
- 文献传递
- 高精度定位平台标定技术
- 高精度定位平台标定技术是对高精度平台的定位结果进行测量和分析.高精度定位平台是MEMS精密作业装备中的关键部分,主要实现装配过程中的纳米级精度和分辨率的精微调整.随着MEMS技术的发展,显微镜下的手工装配已不能满足MEM...
- 葛轶君
- 关键词：微位移测量激光干涉仪
- 文献传递
