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王言

作品数：27 被引量：4H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 23篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 5篇一般工业技术
  • 4篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 4篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 18篇微机械
  • 17篇超声
  • 16篇声换能器
  • 16篇换能器
  • 16篇超声换能器
  • 8篇微机电技术
  • 7篇力传感器
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇压电
  • 6篇微机械技术
  • 5篇压力传感器
  • 4篇压电层
  • 3篇电容
  • 3篇电容式
  • 3篇支撑柱
  • 3篇掺杂
  • 2篇底电极
  • 2篇电极

机构

  • 27篇复旦大学

作者

  • 27篇王言
  • 18篇任俊彦
  • 6篇鲍敏杭
  • 3篇吕宁
  • 3篇于连忠
  • 3篇晋琦
  • 2篇付超超
  • 2篇吴东平
  • 1篇马顺利
  • 1篇李长春
  • 1篇周昊

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇电子学报

年份

  • 2篇2025
  • 4篇2024
  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2015
  • 2篇1991
  • 2篇1990
  • 1篇1989
  • 2篇1988
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法
本发明属于微机械技术领域，具体是一种柔性透明电容式微机械超声换能器及其制备方法。本发明是基于导电颗粒掺杂SU‑8光刻胶等柔性透明材料的，其单元结构包括自下而上设置的：PET衬底层、ITO电极层、空腔、SU‑8支撑层、SU...
任俊彦王言何勒铭
埋沟式横向电压型集成压力传感器被引量：1
1991年
本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
晋琦鲍敏杭王言周昊
关键词：压力传感器电压型传感器
一种兼容压电式和电容式微机械超声换能器的制备方法
本发明属于微机械技术领域，具体是一种兼容压电式和电容式微机械超声换能器的制备方法。本发明微机械超声换能器制备方法分为硅硅键合工艺和阳极键合工艺；微机械超声换能器分为电容式、压电式、压电‑电容混合式；压电式单元结构包括衬底...
任俊彦王言吕宁
双岛-梁-膜结构压力传感器
本实用新型是一种芯片为双岛——梁——膜结构的半导体压力传感器。碰梁横贯双岛，并将硅膜分为对称的两个部分，力敏元件设置在硅梁上。与传统的膜式结果相比。有将应力二次集中的效果，提高了传感器的灵敏度和线性度。可用于微压测量领域...
王言于连忠鲍敏杭
文献传递
制备高性能TFT的方法
本发明涉及晶体管制造领域，公开了一种制备高性能TFT的方法。本发明中，在活化层上形成金属层且对活化层进行离子掺杂之后，再采用微波退火工艺对掺杂离子进行激活，借助金属层对微波的高吸收作用，提高了微波退火工艺的效率，并且成本...
付超超吴东平王言
文献传递
一种具有环状压电层的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种具有环状压电层的微机械超声换能器。本发明换能器是由换能器单元延拓形成的二维阵列；换能器单元包括压电环、复合薄膜、电容腔体和衬底；压电环包含电极层与压电层；复合薄膜包括电极层和中性层；衬...
任俊彦何勒铭王言
一种侧边界自由的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种侧边界自由的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含中心圆电极层、外圈电极层、压电层与底电极层；空腔包含圆柱空腔与空心柱空腔；中性层通过圆柱空腔与空心...
任俊彦何勒铭王言
一种中心支撑的压电式微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种中心支撑的压电式微机械超声换能器。本发明超声换能器是由微机械超声换能器单元延拓形成的二维阵列组成；换能器单元结构包括：衬底、支撑柱、空腔、中性层和振动层；支撑柱和空腔位于同一高度，且支...
任俊彦王言 何勒铭
一种兼容PZT薄膜工艺的微机械超声换能器及其制备方法
本发明属于微机械技术领域，具体为一种兼容PZT薄膜的压电‑电容混合式微机械超声换能器微机械超声换能器及其制备方法。其中，阻挡层采用兼具低扩散系数与高导电性的薄膜材料，即采用导电阻挡层；相应地，采用熔融键合技术，实现PZT...
任俊彦王言吕宁
一种侧边界自由的微机械超声换能器
本发明属于微机电技术领域，具体为一种侧边界自由的微机械超声换能器。换能器单元包括压电叠层、中性层、空腔和衬底；压电叠层包含中心圆电极层、外圈电极层、压电层与底电极层；空腔包含圆柱空腔与空心柱空腔；中性层通过圆柱空腔与空心...
任俊彦何勒铭王言
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