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李小军

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇纳米
  • 3篇纳米流体
  • 2篇电子束曝光
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇声波发生器
  • 2篇声成像
  • 2篇探伤
  • 2篇热压
  • 2篇热压工艺
  • 2篇微流体
  • 2篇微流体系统
  • 2篇细胞
  • 2篇细胞液
  • 2篇谐振频率
  • 2篇流体
  • 2篇纳米压印
  • 2篇换能器
  • 2篇基因
  • 2篇基因导入

机构

  • 7篇中国科学院合...

作者

  • 7篇李小军
  • 7篇尤晖
  • 4篇张瑞
  • 4篇林荣辉
  • 3篇孔德义
  • 3篇唐敏
  • 3篇朱利凯
  • 3篇蒋锐
  • 3篇高钧
  • 3篇王旭迪
  • 3篇付绍军
  • 2篇王晓飞
  • 2篇黄哲
  • 2篇张萍
  • 2篇杨明鹏

年份

  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2013
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法
本发明提出了一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法，柔性聚焦MEMS超声波发生器包括采用MEMS技术制备的超声波换能器阵列排布在聚酰亚胺基体的表面，相邻超声波换能器之间通过电极相连接；所述超声波换能器呈碗状凹形嵌入...
尤晖林荣辉张瑞李小军
集成标尺的SU-8纳米流体通道制作方法
本发明涉及一种集成标尺的SU-8纳米流体通道的制作方法，其特征是利用电子束曝光制作含有标尺及通道线条结构的光刻掩模板，并将上述掩模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中，利用纳米压印并结合键合技术实现集成标尺的纳米流体通道...
李小军尤晖王旭迪付绍军高钧蒋锐朱利凯唐敏孔德义
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集成标尺的SU-8纳米流体通道制作方法
本发明涉及一种集成标尺的SU-8纳米流体通道的制作方法，其特征是利用电子束曝光制作含有标尺及通道线条结构的光刻掩模板，并将上述掩模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中，利用纳米压印并结合键合技术实现集成标尺的纳米流体通道...
李小军尤晖王旭迪付绍军高钧蒋锐朱利凯唐敏孔德义
用于单细胞超声波基因导入的微流体系统及其导入方法
本发明公开了用于单细胞超声波基因导入的微流体系统及其导入方法，其特征在于：微流体系统是在PMMA基体上通过热压工艺制作有微流体管道，在聚酰亚胺基底上通过MEMS工艺制作有不同频率的超声波换能器；PMMA基体和聚酰亚胺基底...
尤晖张萍林荣辉张瑞黄哲杨明鹏李小军王晓飞
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一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法
本发明提出了一种柔性聚焦MEMS超声波发生器及其制备方法，柔性聚焦MEMS超声波发生器包括采用MEMS技术制备的超声波换能器阵列排布在聚酰亚胺基体的表面，相邻超声波换能器之间通过电极相连接；所述超声波换能器呈碗状凹形嵌入...
尤晖林荣辉张瑞李小军
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用于单细胞超声波基因导入的微流体系统及其导入方法
本发明公开了用于单细胞超声波基因导入的微流体系统及其导入方法，其特征在于：微流体系统是在PMMA基体上通过热压工艺制作有微流体管道，在聚酰亚胺基底上通过MEMS工艺制作有不同频率的超声波换能器；PMMA基体和聚酰亚胺基底...
尤晖张萍林荣辉张瑞黄哲杨明鹏李小军王晓飞
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基于柔性模板的集成标尺的纳米流体通道的制作方法
本发明涉及一种基于柔性模板的集成标尺的纳米流体通道的制作方法，本方法利用柔性模板代替硬质模板，具有成本低、表面能低、制作效率高等优点。在压印前，无需进行表面处理；在压印过程中，柔性模板可以较好地贴合聚合物表面，需要转移的...
李小军尤晖孔德义高钧蒋锐朱利凯唐敏王旭迪付绍军
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