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席光荣

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜机

机构

  • 1篇电子工业部

作者

  • 1篇席光荣
  • 1篇陈特超
  • 1篇安志超
  • 1篇华德清
  • 1篇肖友文

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LD-4型多离子束共溅射镀膜机
安志超华德清陈特超席光荣肖友文
该机是根据带能量的离子束轰击固体表面的溅射原理研制的半导体工艺设备。只需在真空室外转换靶位，实现一机两种镀膜技术。一是多个离子束同时轰击各自对应的靶，溅出的各个靶材原子同时淀积在一个衬底上的共溅射镀膜技术。二是各个靶材溅...
关键词：
关键词：镀膜机
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