张纯棣
- 作品数：15 被引量：5H指数：2
- 供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程经济管理更多>>
- 小型硅电容绝对压力传感器的设计与研究
- 李昕欣张纯棣
- 关键词：压力传感器生产工艺电容
- 高精度4'硅片腐蚀装置的研究
- 高精度4'硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4'硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好,效率高.本文结...
- 刘沁张纯棣匡石
- 关键词：微机械系统MEMS传感器各向异性腐蚀硅
- 文献传递
- 四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用被引量：2
- 2000年
- 在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ,膜区厚度为 1 0 μm ,制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ,端点法非线性为 0 .5 %。
- 乔文华张纯棣张治国
- 关键词：电化学腐蚀微压传感器
- 一种高倍过载1KPa硅微压传感器芯片及制造方法
- 高倍过载1KPa硅微压传感器芯片及方法，其特征在于梁—单岛双面双片微结构：上芯片正面“I”形梁上“U”形压力敏感电阻，浅槽外周为铝电极引线及引线焊盘；上芯片背面，相对于浅槽部位，剩余膜片厚度与中心方形支撑相连，即为单硬芯...
- 徐淑霞张治国郑东明梁峭徐长伍唐慧张纯棣刘芙常伟陈琳
- 文献传递
- 一种高倍过载1KPa硅微压传感器芯片结构
- 一种高倍过载1KPa硅微压传感器芯片结构，其特征在于梁—单岛双面双片微结构：上芯片正面“I”形梁上“U”形压力敏感电阻，浅槽外周为铝电极引线及引线焊盘；上芯片背面，相对于浅槽部位，剩余膜片厚度与中心方形支撑相连，即为单硬...
- 徐淑霞张治国郑东明梁峭徐长伍唐慧张纯棣刘芙常伟陈琳
- 文献传递
- 高精度硅电容压力传感器的研究被引量：2
- 1996年
- 本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。
- 李昕欣张纯棣庞世信鲍敏杭杨恒
- 关键词：电容压力传感器传感器硅电容
- 高精度硅传感器芯片腐蚀装置
- 一种高精度硅传感器芯片腐蚀装置，包括工业控制计算机、电器控制柜、反应室、KOH储液罐、清洗液储液罐，其特征是计算机有CRT触摸屏和作业控制程序，通过通讯接口与电控柜控制电路、反应室及管路上的阀、泵相连；反应室内置传动喷淋...
- 刘沁匡石张纯棣陈信琦
- 文献传递
- 力敏传感器专用工艺装备开发
- 刘沁袁慧珠白宇刘宏伟匡石李德爱张纯棣孙家全李艳丽
- 该项目在力敏传感器MEMS部分工艺应用技术研究的基础上，通过专用工艺设备的研制，实现了MEMS部分工艺的实际应用和工艺的稳定，替代了敏感微结构的传统加工工艺，提高了工艺的成品率。并且项目解决了专用工艺设备的设计技术、精密...
- 关键词：
- 关键词：力敏传感器
- MEMS硅基压力敏感芯片生产技术研究
- 庞士信唐慧张治国徐淑霞李颖刘沁徐长武郑东明张纯棣刘波金琦祝永丰
- 任务来源： 传感器是一种能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置，是过程自动控制系统和信息系统的关键基础元器件。而敏感芯片是传感器的核心部件。目前，发达国家已经将传感器技术列入涉及国家利益的敏感...
- 关键词：
- 关键词：输出信号硅基核心部件
- 智能传感器 第3部分：术语
- GB/T 33905.3的本部分界定了智能传感器通用术语、分类术语、制造技术术语、功能术语、材料术语和性能特性及相关术语。
本部分适用于智能传感器的生产、科学研究、教学以及其他有关技术领域。
- 张纯棣孙克刘沁王成城李新戈剑汪付强阮赐元张小水赵建立崔卫匡石柳晓菁梅恪吴晓明庞泳王伟
