您的位置： 专家智库 > >

魏文龙

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇原子钟
  • 4篇圆片
  • 4篇硼硅玻璃
  • 4篇芯片
  • 4篇硅玻璃
  • 3篇硅衬底
  • 3篇衬底
  • 2篇微槽
  • 1篇阳极键合
  • 1篇圆片级
  • 1篇入射
  • 1篇探测器
  • 1篇片上集成
  • 1篇球形
  • 1篇微型芯片
  • 1篇激光
  • 1篇激光探测
  • 1篇激光探测器
  • 1篇键合
  • 1篇光探测

机构

  • 6篇东南大学

作者

  • 6篇魏文龙
  • 5篇尚金堂
  • 5篇秦顺金
  • 5篇于慧
  • 4篇王亭亭
  • 4篇蒯文林
  • 1篇罗新虎
  • 1篇刘靖东

年份

  • 1篇2013
  • 5篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
全选 清除 导出
排序方式：
有光入射平面的微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种有光入射平面的微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法，微型原子腔包括硅衬底和硼硅玻璃组装圆片，硼硅玻璃组装圆片上形成于其表面的玻璃微腔与硅衬底键合形成密闭玻璃原子腔，密闭玻璃原子腔中充有原子钟所必须的物质，在...
尚金堂蒯文林魏文龙秦顺金于慧王亭亭
文献传递
微流控原子腔、片上原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种微流控原子腔、片上原子钟芯片及制备方法，包括以下步骤：带有微流道槽的硅衬底和对应于微流道槽形成玻璃微腔结构的硼硅玻璃组装圆片键合形成密闭系统，该密闭系统包括玻璃原子腔、反应物阻隔微流道和反应物微腔，反应物微...
尚金堂魏文龙秦顺金蒯文林于慧王亭亭
文献传递
负压成型微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种负压成型微型原子腔、微型原子钟芯片及其制备方法，刻蚀深槽形成硅模具；将硅模具与硼硅玻璃组装圆片在真空下进行阳极键合，形成密封腔体；加热至玻璃软化温度以上，并保温，冷却，将上述圆片退火消除应力；在上述成型好的...
尚金堂王亭亭魏文龙蒯文林秦顺金于慧
文献传递
圆片级片上集成微型原子钟芯片及其制备方法
本发明公开一种圆片级微型原子钟的玻璃微腔封装方法，包括以下步骤：第一步，利用刻有微槽的硅衬底，采用正压热成型方法在玻璃圆片上制备球形玻璃微腔,在热成型玻璃微腔的同时在刻有微槽的硅衬底与球形玻璃微腔形成的密闭原子腔中形成原...
尚金堂于慧魏文龙罗新虎刘靖东秦顺金
文献传递
MEMS微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种MEMS微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法，微型原子腔包括硅衬底和硼硅玻璃组装圆片，硼硅玻璃组装圆片上形成于其表面的玻璃微腔与硅衬底键合形成密闭玻璃原子腔，密闭玻璃原子腔中充有原子钟所必须的物质，在玻璃微...
尚金堂蒯文林魏文龙秦顺金于慧王亭亭
文献传递
微型铷腔的制备及其在芯片级原子钟中的集成探索
魏文龙
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0