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陆毅华

作品数：4 被引量：8H指数：2
供职机构：华南理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金广东省科技攻关计划国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇对焦
  • 1篇形变
  • 1篇形变测量
  • 1篇亚像素
  • 1篇掩模
  • 1篇医生
  • 1篇运动控制
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇视觉
  • 1篇特征尺寸
  • 1篇佩戴
  • 1篇自动对焦
  • 1篇脱节
  • 1篇微位移
  • 1篇误差补偿
  • 1篇显微视觉
  • 1篇像素
  • 1篇模拟装置
  • 1篇精密定位系统
  • 1篇机器视觉

机构

  • 4篇华南理工大学

作者

  • 4篇陆毅华
  • 1篇张宪民

传媒

  • 1篇机械设计

年份

  • 1篇2025
  • 1篇2021
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于显微视觉导向的光掩模特征尺寸的精密测量与研究
光刻是大规模集成电路生产流程中十分关键的一环,而光刻中使用的掩模的质量对大规模集成电路的成品率有很大的影响。随着集成电路特征尺寸的减小,对掩模的制造质量也提出了越来越高的要求。对掩模特征尺寸及缺陷进行检测可以减少集成电路...
陆毅华
关键词：光掩模显微视觉自动对焦亚像素
文献传递
一种虚拟术前模拟装置和方法
本发明涉及一种虚拟术前模拟装置和方法，虚拟术前模拟装置包括手部触觉反馈器、操作手柄和控制装置；操作手柄设有激光发射器，激光发射器用于向虚拟手术场景中的虚拟器官发射激光，使激光与虚拟器官发生相交以模拟手术操作；手部触觉反馈...
董昕婕叶颖萱陆毅华
基于扫描电子显微镜的微位移/形变视觉精密测量方法研究
当前，基于显微视觉的精密测量技术在微纳操作、MEMS元器件性能评估和全场应力-应变测量等研究中已被广泛使用，是当前精密工程领域的研究热点之一。本文以扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope，S...
陆毅华
关键词：扫描电子显微镜傅里叶变换机器视觉
二维精密定位系统的误差分析与补偿被引量：6
2009年
针对所设计的基于运动控制卡的精密定位平台,提出了一种测量系统总体误差状况的方法,通过对精密定位系统中宏动平台进行定位误差的测量和分析,根据测量的误差情况提出了误差补偿的方法,采用闭环控制对系统的误差进行补偿,使其定位精度得到了大幅的提高。
陆毅华张宪民
关键词：运动控制误差补偿
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