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张小宾
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11
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中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李晋闽
中国科学院半导体研究所
杨翠柏
中国科学院半导体研究所
王翠梅
中国科学院半导体研究所
王晓亮
中国科学院半导体研究所
肖红领
中国科学院半导体研究所
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生长氮化铟单晶薄膜的方法
本发明一种生长氮化铟单晶薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:采用金属有机物化学气相沉积技术在衬底上生长一层成核层,该成核层可增加衬底表面的成核密度;步骤3:采用金属有机物化学气相沉积技术在成...
王晓亮
肖红领
胡国新
杨翠柏
冉学军
王翠梅
张小宾
李建平
李晋闽
文献传递
蓝宝石衬底上单晶InN薄膜的MOCVD生长
2007年
采用非掺GaN为缓冲层,利用金属有机物气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上获得了晶体质量较好的InN单晶薄膜.用光学显微镜观察得到的InN薄膜,表面无铟滴生成.INN(0002)X射线双晶衍射摇摆曲线的半峰宽为9.18;原子力显微镜测得的表面平均粗糙度为18.618nm;Hall测量得到的InN薄膜的室温背景电子浓度为1.08×1019cm-3,相应的迁移率为696cm2/(V·s).
肖红领
王晓亮
杨翠柏
胡国新
冉军学
王翠梅
张小宾
李建平
李晋闽
关键词:
氮化铟
MOCVD
迁移率
蓝宝石衬底上单晶InN薄膜的MOCVD生长
采用非掺GaN为缓冲层,利用金属有机物气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上获得了晶体质量较好的单晶InN薄膜.用光学显微镜观察得到的InN薄膜,表面无铟滴生成.InN (0002)双晶X射线衍射摇摆曲线的半峰宽为9....
肖红领
王晓亮
杨翠柏
胡国新
冉军学
王翠梅
张小宾
李建平
李晋闽
关键词:
MOCVD生长
气相沉积
晶体质量
文献传递
单结铟镓氮太阳能电池结构及制作方法
一种单结铟镓氮太阳能电池结构,其特征在于,其中包括:一衬底;一低温氮化镓成核层,该低温氮化镓成核层制作在衬底的上面,该成核层可增加衬底表面的成核密度;一非有意掺杂氮化镓缓冲层,该非有意掺杂氮化镓缓冲层制作在低温氮化镓成核...
王晓亮
肖红领
杨翠柏
胡国新
冉学军
王翠梅
张小宾
李建平
李晋闽
文献传递
倒装双结铟镓氮太阳能电池结构
一种倒装双结铟镓氮太阳能电池结构,包括:一衬底;一氮化镓成核层制作在衬底的上面;一非有意掺杂氮化镓缓冲层制作在氮化镓成核层的上面;一n型掺杂In<Sub>a</Sub>Ga<Sub>1-a</Sub>N层制作在非有意掺杂...
王晓亮
杨翠柏
肖红领
胡国新
冉学军
王翠梅
张小宾
李晋闽
文献传递
p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法
本发明涉及无机光电技术领域,公开了一种p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法,该p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构包括衬底、低温氮化镓成核层、非有意掺杂氮化镓缓冲层、n型掺杂In<Sub>x</S...
张小宾
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倒装双结铟镓氮太阳能电池结构
一种倒装双结铟镓氮太阳能电池结构,包括:一衬底;一氮化镓成核层制作在衬底的上面;一非有意掺杂氮化镓缓冲层制作在氮化镓成核层的上面;一n型掺杂In<Sub>a</Sub>Ga<Sub>1-a</Sub>N层制作在非有意掺杂...
王晓亮
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胡国新
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单结铟镓氮太阳能电池结构及制作方法
一种单结铟镓氮太阳能电池结构,其特征在于,其中包括:一衬底;一低温氮化镓成核层,该低温氮化镓成核层制作在衬底的上面,该成核层可增加衬底表面的成核密度;一非有意掺杂氮化镓缓冲层,该非有意掺杂氮化镓缓冲层制作在低温氮化镓成核...
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p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法
本发明涉及无机光电技术领域,公开了一种p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构及其制作方法,该p-i-n型InGaN量子点太阳能电池结构包括衬底、低温氮化镓成核层、非有意掺杂氮化镓缓冲层、n型掺杂In<Sub>x</S...
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生长氮化铟单晶薄膜的方法
本发明一种生长氮化铟单晶薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:采用金属有机物化学气相沉积技术在衬底上生长一层成核层,该成核层可增加衬底表面的成核密度;步骤3:采用金属有机物化学气相沉积技术在成...
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