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塔斯米特株式会社

作品数：26 被引量：0H指数：0
相关机构：东丽工程株式会社更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作机构

文献类型

  • 26篇中文专利

领域

  • 13篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信

主题

  • 13篇图像
  • 12篇图案
  • 9篇扫描电子显微...
  • 7篇电子束
  • 7篇设计数据
  • 5篇晶片
  • 3篇特征量
  • 3篇匹配方法
  • 3篇晶圆
  • 3篇光学
  • 3篇半导体
  • 3篇边缘检测
  • 2篇电子光学
  • 2篇电子光学系统
  • 2篇电子能
  • 2篇电子能谱
  • 2篇电子束源
  • 2篇对焦
  • 2篇行扫描
  • 2篇训练数据

机构

  • 26篇塔斯米特株式...
  • 7篇东丽工程株式...

年份

  • 4篇2025
  • 7篇2024
  • 4篇2023
  • 5篇2022
  • 2篇2021
  • 4篇2020
共 26 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
图案测量方法
本发明涉及一种自动确定形成在晶圆、掩模、面板、基板等工件上的图案的尺寸等特征量的测量方案的方法。本方法基于在设计数据中定义的坐标系上的测量点(111)和CAD图案(101)的相对位置、以及CAD图案(101)的面积，确定...
中泽伸一
晶片外观检查装置
即使在晶片的外周部，也能够可靠地检测想要检测的缺陷，防止疑似缺陷的检测。具体地说，提供对晶片上存在的缺陷进行检查的晶片外观检查装置，该晶片外观检查装置具有检查部，该检查部根据对晶片的外观进行拍摄而得到的外观图像对设定在该...
岛谷谦一藤井研斗
缺陷检查装置及缺陷检查方法
提供一种能够以简单的方法自动地检测用于拍摄包含缺陷的区域的最佳光学条件缺陷检查装置。缺陷检查装置(1)具备：光学显微镜(10)，其具备拍摄芯片(31)的图像的摄像部(14)；控制部(20)，其控制用于拍摄芯片的图像的光学...
久世康之
晶片检查装置
本发明提供一种晶片检查装置，在检查粘贴于膜材料的晶片时，能够可靠地进行保持而不会使易变形的膜材料发生局部变形(伸长等)。具体地说，该晶片检查装置对由粘贴于环状框架的粘接膜支承的晶片进行检查，其中，具有：保持部，其与所述粘...
越智达也小山恭史神田和胜
扫描电子显微镜
本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，...
齐藤尚也 久保田大辅
荧光检查装置
即使在一张基板上排列有多个发光色不同的LED元件，也能够以高吞吐率进行检查。具体而言，一种荧光检查装置，其使配置于基板上的LED元件进行荧光发光而进行检查，荧光检查装置具备基板保持部、激励光照射部、摄像部、相对移动部、检...
村田浩之
扫描电子显微镜的自动对焦方法
本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(1...
久保田大辅
文献传递
晶片保持装置
提供晶片保持装置，在对容易产生翘曲或变形的晶片进行保持时，即使在仅允许该晶片的外周下部的一部分接触的情况下，也能够以期望的姿势可靠地进行保持。具体而言，晶片保持装置以水平状态接收晶片并以规定的姿势进行保持，其特征在于，该...
竹岛诚久保祐辉冈浩平西川修二
图像生成方法
本发明涉及一种图像生成方法，该图像生成方法选择存在具有比阈值高的唯一性值的图案的剪辑区域(C1)，确定存在于选择的剪辑区域(C1)内的特定点，即第1特定点(P1)，由扫描电子显微镜生成通过确定的第1特定点(P1)的坐标所...
丸山浩太郎
测定背散射电子能谱的装置及方法
本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测...
嘉藤诚 佐佐木澄夫 田中幸浩 山崎裕一郎
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