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内蒙古中环领先半导体材料有限公司
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一种用于降低单晶电阻率的重掺掺杂装置
本实用新型提供一种用于降低单晶电阻率的重掺掺杂装置,包括用于置放掺杂剂的放置筒和用于固定所述放置筒的防护罩,所述放置筒置于所述防护罩内侧;所述放置筒下端面为平面,在所述放置筒下端面至少设有一组通孔;被熔化的掺杂剂穿过所述...
侯明超
王淼
贾海洋
张强
娄中士
李仕权
文献传递
一种降低直拉单晶复投碳含量的装置
本实用新型提供一种降低直拉单晶复投碳含量的装置,可移动式设置在单晶炉内导流筒的内表面,包括内导本体和提升杆,所述内导本体设置在所述内导流筒的内表面,所述提升杆一端与所述内导本体顶部连接,另外一端穿过所述单晶炉的炉盖并设有...
孔凯斌
刘伟
韩飞宇
郝小龙
周宏邦
王淼
张强
贾海洋
娄中士
王立刚
王彦君
孙晨光
一种提高CZ法高阻半导体单晶轴向电阻率均一性的方法
本发明提供一种提高CZ法高阻半导体单晶轴向电阻率均一性的方法,在单晶拉制过程中,通入掺杂气体,进行气相掺杂,通过控制掺杂气体的掺杂效率和勾形磁场的抑制率,对单晶轴向电阻率进行控制,包括以下步骤:确定掺杂气体的掺杂效率:根...
孔凯斌
王彦君
孙晨光
周宏邦
王淼
娄中士
侯明超
贾海洋
张强
刘伟
王立刚
一种单晶运输车
一种单晶运输车,包括运输车本体,运输车本体底部设有连接杆,连接杆一端连接运输车本体,连接杆另一端设有固定环,固定环置于运输车本体外部。运输车本体上设有支撑块,支撑块底部置于底板上表面,支撑块顶部设有凹槽,凹槽的中心与固定...
常瑞新
文献传递
一种抑制单晶炉观察窗氧化物堆积的装置
本实用新型提供一种抑制单晶炉观察窗氧化物堆积的装置,可设置在炉盖上,包括电机、传动轴,伸缩杆和叶片组件,所述电机设置在所述炉盖上方,所述传动轴一端与所述电机连接,另外一端穿过所述炉盖伸入炉盖空腔内设有所述伸缩杆,所述伸缩...
刘伟
贾海洋
周宏邦
娄中士
王淼
张强
王立刚
侯明超
孔凯斌
李浩东
吕惠芸
田旭东
王彦君
孙晨光
一种单晶炉提拉头校准装置及校准方法
本发明提供一种单晶炉提拉头校准装置,包括:与重锤连接的固定部;校准部;以及用于连接所述固定部和所述校准部的连接部;所述固定部、所述连接部和所述校准部同轴心设置;所述校准部为锥形体结构且其小径端靠近所述连接部一侧设置;所述...
李仕权
周宏邦
娄中士
王淼
张强
侯明超
张庆虎
郝朝旭
孔凯斌
王立刚
郝小龙
一种用于直拉炉气动阀的供气装置
本实用新型公开了一种用于直拉炉气动阀的供气装置,包括干燥机组、开关阀门、第一压力传感器和控制器,压缩空气经干燥机组后供向直拉炉气动阀;开关阀门通过旁通管道与干燥机组并联;第一压力传感器设于开关阀门的下游;控制器分别与第一...
兰鹏飞
白志俊
杨慧敏
于文波
李旭伟
李瑞
贾海洋
娄中士
周宏邦
王淼
郝美瑞
一种半导体级直拉复投筒
本实用新型提供一种半导体级直拉复投筒,包括筒本体、钼杆和置于所述筒本体下端的主石英伞,在所述钼杆上且位于所述主石英伞上方还设有副石英伞;所述主石英伞上还设有用于隔离钼杆和硅料并贯穿所述副石英伞设置的石英筒;所述筒本体上端...
袁长宏
娄中士
李鹏飞
田旭东
马飞
田宇翔
常瑞新
文献传递
一种晶棒旋转检测台
一种晶棒旋转检测台,包括检测台面,检测台面上设有滚动滚筒和检测装置,滚动滚筒包括第一滚筒和第二滚筒,第一滚筒与第二滚筒平行分布。检测台面底部通过旋转装置连接升降装置,升降装置底部设有万向轮。本实用新型的有益效果是:将晶棒...
刘效斐
文献传递
一种硅单晶中心氧含量控制方法及控制系统
本申请公开了一种硅单晶中心氧含量控制方法及控制系统,属于半导体技术领域,在本申请的控制方法中,包括:获取横向磁场下生长硅单晶的参数,参数包括:坩埚底部氧含量、坩埚壁所产生的氧含量、气液二相挥发氧含量、中心对流与边缘对流交...
娄中士
薛子轩
李鹏飞
袁长宏
田旭东
贾海洋
周宏邦
王淼
张强
周利清
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