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北京科华丰园微电子科技有限公司

作品数：22 被引量：0H指数：0
相关机构：北京科华微电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司上海彤程电子材料有限公司更多>>
相关领域：电子电信化学工程医药卫生更多>>

合作机构

文献类型

  • 22篇中文专利

领域

  • 3篇化学工程
  • 3篇电子电信
  • 1篇医药卫生

主题

  • 14篇光刻
  • 12篇光刻胶
  • 10篇化合物
  • 6篇组合物
  • 4篇电子领域
  • 4篇阴离子
  • 4篇阴离子聚合
  • 4篇树脂
  • 4篇嵌段
  • 4篇嵌段聚合物
  • 4篇自组装
  • 4篇微电子领域
  • 4篇离子
  • 4篇化合物合成
  • 3篇类化合物
  • 3篇感光
  • 3篇感光剂
  • 2篇氮化合物
  • 2篇调压阀
  • 2篇氧原子

机构

  • 22篇北京科华微电...
  • 22篇北京科华丰园...
  • 10篇上海彤程电子...
  • 10篇彤程新材料集...

作者

  • 3篇孙嘉
  • 2篇李冰
  • 2篇郑金红
  • 1篇石小亮

年份

  • 2篇2023
  • 2篇2022
  • 7篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2015
  • 3篇2013
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种新型的光刻胶剥离液及其应用工艺
本发明涉及一种用于去除基片上多余光刻胶的新型光刻胶剥离液。该剥离液包括用于溶解的有机溶剂，加快去胶速率的解交联催化剂，以及避免基片腐蚀的防腐蚀保护剂。该光刻胶剥离液能够缩短平常去胶周期，对人体和环境都没有毒性，而且对于曝...
李冰陈昕罗杰·森特李海波于晓伟
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一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法
本发明提供一种新型负性化学放大光刻胶及其成像方法，该负性化学放大光刻胶含有苯酚类树脂、光致产酸剂、交联剂、碱性添加剂、敏化剂和光刻胶溶剂。其中苯酚类树脂是所述新型负性化学放大光刻胶的主体材料，光致产酸剂是在光照时能够产生...
孙嘉陈昕罗杰·森特李冰刁翠梅李海波韩现涛
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一种光刻胶组合物
本申请提供一种光刻胶组合物，属于光刻技术领域。光刻胶组合物包括：100重量份化学放大正性光刻胶基体树脂、0.2～30重量份光致产酸剂和0.01～5重量份碱性添加剂。光致产酸剂包括三嗪类化合物，碱性添加剂包括含有氧原子的胺...
马洁李冰孙嘉郑金红陈昕王文芳董栋张宁
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可用于定向自组装的嵌段聚合物及无规聚合物及其制备方法和自组装方法
本发明高分子化合物合成与应用，具体地，本发明涉及可用于定向自组装的嵌段聚合物及无规聚合物及其制备方法和自组装方法。嵌段聚合物通过阴离子聚合得到且嵌段之间不具有相容性；由所述嵌段聚合物的单体和环氧甲基丙烯酸酯类单体通过自由...
李海波李冰马克·奈舍刘德军
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一种共聚物、底层胶组合物、双层体系及其在双层剥离工艺中的应用
本申请提供一种共聚物、底层胶组合物、双层体系及其在双层剥离工艺中的应用。属于半导体技术领域。共聚物由N取代马来酰亚胺单体、溶解速率控制单体、丙烯酸酯疏水性单体和丙烯酸羟乙酯亲水性单体聚合得到。本申请的共聚物不溶解于传统光...
李杰李冰李海波姚宇晨陈昕王文芳董栋张宁
一种光刻胶组合物
本申请提供一种光刻胶组合物，属于光刻技术领域。光刻胶组合物包括：100重量份化学放大正性光刻胶基体树脂、0.2～30重量份光致产酸剂和0.01～5重量份碱性添加剂。光致产酸剂包括三嗪类化合物，碱性添加剂包括含有氧原子的胺...
马洁李冰孙嘉郑金红陈昕王文芳董栋张宁
可用于定向自组装的嵌段聚合物及无规聚合物及其制备方法和自组装方法
本发明高分子化合物合成与应用，具体地，本发明涉及可用于定向自组装的嵌段聚合物及无规聚合物及其制备方法和自组装方法。嵌段聚合物通过阴离子聚合得到且嵌段之间不具有相容性；由所述嵌段聚合物的单体和环氧甲基丙烯酸酯类单体通过自由...
李海波李冰马克·奈舍刘德军
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一种光刻胶组合物及其用途
本申请提供了一种光刻胶组合物及其用途，该光刻胶组合物，以重量份计，包括以下成分：酚醛树脂10‑50份、感光剂1‑10份、塑化剂0.1‑5份、添加剂0.1‑5份和有机溶剂40‑100份，添加剂包括结构式(I)所示化合物中的...
刁翠梅李冰张咪王双双陈昕王文芳董栋张宁
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一种抽真空系统
本实用新型属于真空系统技术领域，公开了一种抽真空系统，包括：用于抽真空的真空泵、用于缓冲的缓冲瓶和应用设备，所述真空泵和应用设备之间连接有缓冲瓶，所述真空泵和缓冲瓶之间设有调压阀，所述真空泵包括第一真空泵和第二真空泵，所...
石小亮 欧永英
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硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用、用于制备光刻胶的组合物
本申请提供硝基苯甲醇磺酸酯化合物作为增速剂在光刻胶中的应用、用于制备光刻胶的组合物，属于半导体材料技术领域。硝基苯甲醇磺酸酯化合物在受热后会分解产生路易斯质子酸，使其能够作为增速剂添加到酚醛树脂‑重氮奈醌型光刻胶和化学放...
孙嘉李冰马洁陈昕王文芳董栋张宁
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