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富士纺控股株式会社
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旭硝子株式会社
国立大学法人九州大学
信越半导体股份有限公司
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3篇
2024
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2022
5篇
2021
5篇
2020
5篇
2019
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2018
8篇
2017
9篇
2016
4篇
2015
4篇
2014
2篇
2012
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研磨垫
研磨垫(13)用于对具有凸状曲面部分(1a)的被研磨物(1)的所述凸状曲面部分进行研磨,其特征在于,在圆盘状且具有厚度的弹性体的侧表面配置有环状凹研磨部(13a),一边以该圆盘的圆的中心为轴沿圆周方向驱动所述环状凹研磨部...
柏田太志
德重伸
高桥大介
文献传递
研磨垫
提供了一种在对具有变化厚度的被研磨物的表面进行研磨时,可提高研磨精度并可抑制研磨不均的研磨垫。研磨垫(1)是将具有研磨面(9)的上层片材(3)及下层片材(5)至少两片片材贴合而构成的,上层片材的厚度为1.0mm~2.0m...
高桥大介
高田直树
前田宪孝
文献传递
研磨垫和研磨垫的制造方法
根据本发明,提供能够抑制光透过率的不均的研磨垫或者能够减少研磨屑向透光性树脂构件(窗构件)的研磨面侧的表面的附着、固着的研磨垫。
立野哲平
田中启介
喜乐香枝
小池坚一
栗原浩
宫内庆树
研磨垫的制造方法
本发明提供一种在使用凹版将凹凸图案转印到树脂时,廉价且能够容易地剥离树脂的研磨垫的制造方法。本发明公开了一种研磨垫的制造方法,所述研磨垫具有使树脂硬化而成的研磨层,所述研磨垫的制造方法具有如下工序:准备通过真空成形或射出...
中濑惠介
永井克树
高木正孝
小池坚一
冈田真治
东亮介
研磨垫及研磨方法
本发明提供一种研磨垫,所述研磨垫具有研磨构件,所述研磨构件具有研磨面,所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。
土肥俊郎
濑下清
高木正孝
柏田太志
文献传递
研磨垫及研磨加工物的制造方法
本发明的目的是提供能够减少划痕产生的研磨垫及研磨加工物的制造方法。研磨垫,其具备聚氨酯片作为研磨层,在浸水状态下以频率1.6Hz、20~100℃的条件进行的动态粘弹性测定中,所述聚氨酯片在40~60℃的范围内具有损耗角正...
松冈立马
栗原浩
鸣岛早月
高见泽大和
基板固定环
1.本外观设计产品的名称:基板固定环。;2.本外观设计产品的用途:用于研磨机械。;3.本外观设计产品的设计要点:在于产品的形状。;4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:设计1立体图。;5.指定基本设计:本外观设计申...
广田幸史
铃木基文
永岛匠
研磨垫及其制造方法
本发明提供一种研磨垫,所述研磨垫是含有在研磨布基体含浸聚氨酯树脂及碳化硅而成的含树脂研磨布的研磨垫,所述碳化硅的粒径在0.2μm至3.0μm的范围内,而且在含树脂研磨布中,相对于研磨布基体100质量份是含有60质量份至5...
柏田太志
小池坚一
徳重伸
文献传递
研磨垫及其制造方法
本发明提供一种研磨垫及其制造方法,该研磨垫改善在使用习知的硬质(干式)研磨垫的情况下产生的划痕问题,且该研磨垫的研磨速率或研磨均匀性优异,不仅可应对一次研磨,而且亦可应对最后研磨。本发明的半导体器件研磨用研磨垫含有研磨层...
糸山光纪
宫泽文雄
文献传递
研磨垫及其制造方法
本发明提供一种经时研磨速率的稳定性高的研磨垫及其制造方法。一种研磨垫,包括具有聚氨基甲酸酯片的研磨层,其中在水浴中浸泡3天的湿润状态的所述聚氨基甲酸酯片在初始负荷148g、应变范围0.1%、测定频率1.6Hz、拉伸模式下...
松冈立马
栗原浩
鸣岛早月
高见沢大和
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