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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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547
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佛山市中山大学研究院
常州捷佳创精密机械有限公司
宣城先进光伏技术有限公司
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佛山市中山大学研究院
常州捷佳创精密机械有限公司
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中山大学
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2014
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2012
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上料装置以及真空镀膜设备
本实用新型公开了一种上料装置以及真空镀膜设备,其中上料装置包括:顶杆以及驱动机构。顶杆包括推杆以及支撑件,推杆与支撑件为分体式结构,支撑件连接于推杆,用于承载靶材,推杆由耐高温高强度的材料制成,支撑件为耐高温绝缘结构,驱...
余仲
葛光星
王应斌
张凡
一种自动上下料设备
本实用新型公开了一种自动上下料设备,包括:花篮上料中转装置、花篮上料装置、第一转存装置、硅片上料装置、花篮下料中转装置、花篮流转装置、第二转存装置、硅片下料装置和花篮下料装置。硅片在输送过程中依次通过花篮上料装置(输送装...
周宏业
胡艳东
罗宁
压力控制系统与反应炉
本实用新型公开了一种压力控制系统与反应炉,压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀,反应室具有第一开口;冷却装置与第一开口连通,用于对从第一开口流出的气体进行冷却,冷却装置具有供冷却后的气体流出...
张勇
罗伟斌
欧阳泉
罗之华
文献传递
用于化学气相沉积处理的加热装置
本发明提供了一种用于化学气相沉积处理的加热装置,包括:壳体,包围限定出腔室;加热组件,设于腔室中,并包括多个导热部和多个加热部;其中,至少两个的导热部相互分体设置,任一导热部与任至少一个的加热部相配合,加热部生发热量,导...
李时俊
梁建军
朱海剑
硅片花篮移栽装置
本实用新型公开了一种硅片花篮移栽装置,包括:第一输送机构;第二输送机构,设置于第一输送机构上,第一输送机构用于驱使第二输送机构沿第一方向移动,第二输送机构包括设置于第一输送机构上的安装架、设置于安装架上的输送组件、以及设...
伍波
刘晔锟
廖程波
周宏业
赵昌胜
推舟升降装置及镀膜设备
本实用新型公开了一种推舟升降装置及镀膜设备,推舟升降装置包括基座、推舟机构、升降组件及驱动机构,升降组件沿基座的长度方向间隔分布,导套与传动体均安装于安装主体,导杆滑动连接于导套的内部,传动体与丝杆螺纹连接,驱动机构与丝...
张勇
李学文
刘兵吉
肖训
一种低压扩散炉炉口隔热结构
本实用新型公开了一种低压扩散炉炉口隔热结构,包括石英管和密封圈,所述密封圈套设于所述石英管的管口的端部外壁上,还包括管状的隔热层,所述管状的隔热层设置于所述石英管的管口的端部内且所述管状的隔热层的中轴线与所述石英管的中轴...
李致文
张勇
文献传递
附着板、附着板组件以及真空镀膜装置
本实用新型公开了一种附着板、附着板组件以及真空镀膜装置,附着板,包括:附着板本体;以及支撑件,与附着板本体连接,支撑件设有第一挂孔、以及与第一挂孔沿横向间隔设置的第二挂孔,第一挂孔具有沿横向间隔排布的第一侧壁以及第二侧壁...
张勇
肖荣锋
王应斌
满小花
谢进学
葛光星
张凡
一种用于扩散炉的多管排废系统
本实用新型公开了一种用于扩散炉的多管排废系统,包括主排废管、废液收集管和与废液收集管连通的废液收集瓶,还包括若干根排废小管,所述若干根排废小管的两端分别与所述主排废管和所述废液收集管连通,每根所述排废小管上设置与该排废小...
文鸥
张勇
文献传递
硅片限位结构以及硅片载具
本实用新型公开了一种硅片限位结构以及硅片载具,硅片限位结构,包括:承载部;安装部,安装部设置于承载部上,且安装部限定出用于供硅片放入的安装区,安装部上设置有围绕安装区间隔设置的多个限位部;其中,安装部包括用于构成安装区的...
余仲
左忠祥
庞才伟
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