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氯工程株式会社
作品数:
12
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相关机构:
株式会社东芝
芝浦机械电子株式会社
日本制纸株式会社
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相关领域:
文化科学
轻工技术与工程
电子电信
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文化科学
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清洗方法
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电子器件
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微结构
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清洗液
2篇
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机构
12篇
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10篇
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10篇
株式会社东芝
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年份
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2014
1篇
2013
2篇
2012
6篇
2011
1篇
2009
1篇
2008
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清洗方法及制造电子器件的方法
本发明公开了一种清洗方法,其包括:通过电解硫酸制备氧化溶液,并用所述氧化溶液清洗工件。所述氧化溶液通过混合热来加热以清洗所述工件。本发明还公开了一种制造电子器件的方法,其包括:制备工件;通过电解硫酸制备氧化溶液,并用所述...
柴田幸弘
速水直哉
加藤昌明
小林信雄
文献传递
清洗液、清洗方法、清洗系统以及制造微结构的方法
根据实施方案,一种清洗液包括氧化物质和氢氟酸,并且显示出酸性。公开了一种清洗方法。该方法包括制备一种包括氧化物质的氧化溶液,通过选自电解硫酸溶液、电解加入硫酸溶液中的氢氟酸以及混合硫酸溶液和过氧化氢水溶液中的一种来制备。...
速水直哉
田家真纪子
黑川祯明
小林信雄
加藤昌明
尾川裕介
土门宏纪
文献传递
硫酸的电解装置、电解方法和基板的处理装置
本发明的硫酸的电解装置具备:被隔膜(4)分隔形成设有阴极(5a)的阴极室(5)和设有阳极(6a)的阳极室(6)的电解槽(1);贮存硫酸的硫酸罐;连接硫酸罐和阴极室的流入口的给液管(14);连接阴极室的流出口和阳极室的流入...
小林信雄
柴田幸弘
速水直哉
加藤昌明
文献传递
木化纤维素材料的蒸煮法
本发明提供一种木化纤维素材料的蒸煮法,其提高相同卡伯值下的纸浆收率,且削减相同卡伯值下的有效碱添加比例。其为使用下述蒸煮釜的连续蒸煮法,所述蒸煮釜的内部从顶部向底部具备塔顶区、上部蒸煮区、下部蒸煮区、蒸煮洗涤区,而且在各...
黑须一博
渡部启吾
岸刚陆
清洗方法及制造电子器件的方法
本发明公开了一种清洗方法,其包括:通过电解硫酸制备氧化溶液,并用所述氧化溶液清洗工件。所述氧化溶液通过混合热来加热以清洗所述工件。本发明还公开了一种制造电子器件的方法,其包括:制备工件;通过电解硫酸制备氧化溶液,并用所述...
柴田幸弘
速水直哉
加藤昌明
小林信雄
清洗方法及制造电子器件的方法
本发明公开了一种清洗方法,其包括:通过电解硫酸制备氧化溶液,并用所述氧化溶液清洗工件。所述氧化溶液通过混合热来加热以清洗所述工件。本发明还公开了一种制造电子器件的方法,其包括:制备工件;通过电解硫酸制备氧化溶液,并用所述...
柴田幸弘
速水直哉
加藤昌明
小林信雄
文献传递
清洗方法、清洗系统以及制造微结构的方法
根据一个实施方案,公开了一种清洗方法。该方法通过电解稀硫酸溶液可以制备包括氧化物质的氧化溶液。另外,该方法可以向待清洗物体表面单独地、按顺序地或基本上同时地供给高浓缩无机酸溶液和氧化溶液。
速水直哉
田家真纪子
加藤昌明
土门宏纪
尾川裕介
黑川祯明
小林信雄
清洗液、清洗方法、清洗系统以及制造微结构的方法
根据实施方案,一种清洗液包括氧化物质和氢氟酸,并且显示出酸性。公开了一种清洗方法。该方法包括制备一种包括氧化物质的氧化溶液,通过选自电解硫酸溶液、电解加入硫酸溶液中的氢氟酸以及混合硫酸溶液和过氧化氢水溶液中的一种来制备。...
速水直哉
田家真纪子
黑川祯明
小林信雄
加藤昌明
尾川裕介
土门宏纪
硫酸的电解装置、电解方法和基板的处理装置
本发明的硫酸的电解装置具备:被隔膜(4)分隔形成设有阴极(5a)的阴极室(5)和设有阳极(6a)的阳极室(6)的电解槽(1);贮存硫酸的硫酸罐;连接硫酸罐和阴极室的流入口的给液管(14);连接阴极室的流出口和阳极室的流入...
小林信雄
柴田幸弘
速水直哉
加藤昌明
文献传递
蚀刻方法、制造微观结构的方法和蚀刻装置
在一个实施方案中,公开了一种蚀刻方法。该方法可以包括通过电解硫酸溶液产生氧化性物质、和通过控制氧化性物质的生成量来产生具有规定的氧化剂浓度的蚀刻溶液。该方法可包括将所生产的蚀刻溶液供应到工件表面。
田家真纪子
速水直哉
佐藤伸良
米仓由里
平林英明
黑川祯明
小林信雄
加藤昌明
土门宏纪
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