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FEI公司
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马克斯·普朗克索赔科学公司
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提供深度分辨图像的带电粒子显微镜
本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法,包括以下步骤:‑ 将样本安置在样本保持器上;‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上,由此产生相互作用,该相互作用导致...
F.布格霍贝尔
E.G.T.博施
P.波托塞克
X.朱格
B.H.利希
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聚焦离子束杂质鉴定
聚焦离子束杂质鉴定。具有带电粒子束(CPB)透镜和离子束柱的双束系统可以在分析模式下运行。在所述分析模式下,来自所述离子束柱的离子束可以由CPB偏转为包含主离子束和一个或多个非主离子束的一个或多个分量束。所述双束系统可以...
J.格雷厄姆
L.克拉尔
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多种类离子源
具有气体腔室的高亮度离子源包括多个通道,其中,多个通道各自具有不同的气体。使电子射束穿过通道之一以提供某些种类的离子用于处理样本。能够通过将电子引导到具有不同的气体种类的另一个通道中并且利用第二种类的离子处理样本来快速地...
G.A.施温德
N.W.帕克
文献传递
深冷温度下的束诱导沉积
本发明涉及深冷温度下的束诱导沉积,即在深冷温度下采用束诱导沉积将材料沉积到底材上的方法。前体气体选自熔点低于底材深冷温度的一类化合物。优选前体气体选自在所要求的深冷温度下粘着系数在0.5~0.8之间的一类化合物。这将导致...
J.J.L.穆尔德斯
P.H.F.特罗姆佩纳尔斯
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用于对物体进行辐射的粒子-光学装置
本发明提供了一种利用粒子束对物体进行辐射的粒子—光学装置。该装置包括一个壳体,在该壳体内设置有定位装置(1),用于在壳体内对所述物体进行定位。该定位装置(1)包括:基准体(2),被支撑在所述壳体的一支撑部分上;和运动系统...
A·维斯彻尔
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显微镜样本制备方法和相关联的系统
在一示例中,一种方法包括:产生与多个处理轴线中的每个处理轴线相关联的预计样本表征值集合;以及基于这些预计样本表征值来标识优选处理轴线。在另一代表性示例中,一种方法包括:提取样本试样;产生该样本试样的样本图像;标识优选样本...
P·宾克内罗娃
D·维默
D·普伦蒂斯
对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜中进行分析的片层的方法
本公开涉及一种对生物样本进行显微机械加工以产生用于在低温带电粒子显微镜中进行分析的片层的方法。该方法包括以下步骤:在样本载体上提供生物样本;在该样本载体上定位样本区域,该样本区域包括感兴趣区,该感兴趣区具有可以从其产生片...
M·多尼克
V·弗尔博夫斯卡
R·克里兹
J·库巴
T·弗兰克
卤素产生器
本文公开的是用于产生卤素气体的一种方法和系统的实施例。所述方法可包含使固体氧化剂与包含卤化物化合物的蒸气接触,以产生包含对应于所述卤化物化合物中的卤化物的卤素的气流。所述卤化物化合物可以是酰卤,如乙酰卤或草酰卤。所述氧化...
C.钱德勒
CAD辅助TEM准备配方创建
提供了用于S/TEM样品准备和分析的改进的过程工作流和装置。优选实施例提供了用于自动化配方TEM样品创建的改进的方法,特别地用于小几何形状的TEM薄片,其采用CAD数据来自动化地对准样品准备的各种镜台。过程通过掩蔽掉所获...
J.阿加瓦奇
M.P.诺尔斯
文献传递
低能量离子束蚀刻
本发明涉及低能量粒子束蚀刻,在存在蚀刻辅助气体的情况下使用低能量聚焦离子束来去除碳质材料。申请人已经发现,当FIB的射束能量被降低时,诸如O<Sub>2</Sub>的蚀刻辅助气体大大增加了蚀刻速率。在一个例子中,使用具有...
C.吕埃
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