您的位置： 专家智库 > >

麦克罗尼克激光系统公司

作品数：88 被引量：0H指数：0
相关机构：弗朗霍弗应用研究促进协会更多>>

合作机构

文献类型

  • 88篇中文专利

主题

  • 37篇掩模
  • 27篇图案
  • 24篇调制
  • 23篇调制器
  • 19篇电磁辐射
  • 17篇光调制器
  • 16篇空间光调制器
  • 15篇构图
  • 15篇分辨率
  • 15篇保护区
  • 14篇图像
  • 14篇像素
  • 9篇偏转
  • 8篇晶片
  • 8篇辐射源
  • 7篇光学
  • 6篇印刷
  • 6篇平版
  • 6篇平版印刷
  • 6篇工件

机构

  • 88篇麦克罗尼克激...
  • 3篇弗朗霍弗应用...

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 18篇2009
  • 10篇2008
  • 15篇2007
  • 23篇2006
  • 14篇2005
  • 1篇2004
共 88 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
计算多边形的第一与第二边相交处的角的像素值的方法
本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像，可用适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请...
托布乔恩·桑德斯特罗姆马丁·奥尔森珀·埃尔姆福斯斯蒂芬·古斯塔夫森
文献传递
多射束图像增强
本发明的一方面包括一种在工件上构图的方法，该工件至少是部分地被一电磁辐射敏感层所覆盖，通过使用在至少第一方向具有预定间距的多束射束，将一图案辐照到所述工件上，其中，所述预定间距固定为所述第一方向上的初始系统节距，该方法包...
彼得·埃克伯格
文献传递
空间光调制器直接记录器
本发明涉及一种用于对置于图像平面(150)并对电磁辐射敏感的工件进行构图的设备(100)，包括发射电磁辐射到目标平面(160)的光源(142)，以及分别包含多个目标像素的至少两个空间光调制器，目标像素适于接收目标平面的电...
托马斯·洛克
文献传递
用于构图工件的浸式光刻系统
本发明涉及用于构图工件的浸式光刻系统，所述工件布置在像平面且至少部分地被覆盖以对电磁辐射敏感的层。所述系统包括：源，其发射电磁辐射到物平面上；掩模，其适于在所述物平面处接收和调制所述电磁辐射，并朝向所述工件传递所述电磁辐...
艾伦·卡罗尔
文献传递
以改进的CD均匀度印制图案的方法和设备
本发明的一个方面包括一种利用部分相干电磁辐射源以改进的CD均匀度对工件制作图案的方法。所述方法包括动作：对于所述工件上的多个层，确定作为曝光闪光数函数的CD均匀度，对于所述工件上的多个层，确定作为曝光闪光数函数的制作图案...
托布乔恩·桑德斯特罗姆
文献传递
一种呈现的方法
本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像，可适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请公...
托布乔恩·桑德斯特罗姆马丁·奥尔森珀·埃尔姆福斯斯蒂芬·古斯塔夫森
文献传递
用于基于多种形式的设计数据的图案生成的方法和系统
在图案生成方法中，设计的性质被在掩模数据准备系统中提取，并且性质被传播到平版印刷写入系统。图案基于分割的设计数据和提取的性质生成。通过保留意图用于平版印刷写入系统的设计，图案复制的保真度可以改进。
拉斯·伊凡森
文献传递
用于在工件上形成图案的方法和装置
本发明的一个方面包括一种用于在至少部分被对电磁辐射敏感的层覆盖的工件上形成图案的方法，包括步骤：提供将要成像到所述工件的多个位置上的至少一个图像的数据表示；将所述数据表示分割成多个扫描场条纹；重复下面步骤：光栅化所述数据...
安德斯·瑟伦卡雷尔·范德马斯特阿尔诺·布利克
文献传递
图案生成装置和用于测量表面物理特性的装置
本发明涉及在用于曝光设备的表面写入图案的方法，包括以下步骤：将具有一表面和一厚度(T)的物体设置在图案生成装置的工作台上；将表面分成多个测量点，其中两个相邻测量点间隔距离(P)不超过预定最大距离；在每个测量点确定所述表面...
拉尔斯·斯蒂布勒特彼得·埃克伯格
文献传递
计算用于对应于多边形的边的部分的多值像素的值的方法
本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像，可用适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请...
托布乔恩·桑德斯特罗姆马丁·奥尔森珀·埃尔姆福斯斯蒂芬·古斯塔夫森
文献传递
全选 清除 导出
共9页<123456789>
聚类工具0