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赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司

作品数：217 被引量：0H指数：0
相关机构：信越石英株式会社弗劳恩霍弗实用研究促进协会赫罗伊斯·坦尼沃有限公司更多>>
相关领域：化学工程电子电信金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 217篇中文专利

领域

  • 13篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 143篇石英玻璃
  • 31篇坩埚
  • 30篇合成石英玻璃
  • 26篇多孔
  • 23篇玻璃管
  • 19篇石英玻璃管
  • 17篇拉制
  • 16篇柱体
  • 16篇掺杂
  • 15篇玻璃化
  • 14篇石英
  • 12篇多孔碳
  • 12篇金属
  • 11篇熔融
  • 11篇温度
  • 10篇氧化硅
  • 10篇无定形
  • 10篇硅酸
  • 9篇颗粒层
  • 8篇熔化

机构

  • 217篇赫罗伊斯石英...
  • 9篇信越石英株式...
  • 2篇赫罗伊斯·坦...
  • 2篇弗劳恩霍弗实...

年份

  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 12篇2018
  • 16篇2017
  • 31篇2016
  • 25篇2015
  • 25篇2014
  • 16篇2013
  • 22篇2012
  • 13篇2011
  • 9篇2010
  • 8篇2009
  • 5篇2008
  • 8篇2007
  • 1篇2006
  • 7篇2005
  • 3篇2004
  • 1篇2003
  • 7篇2002
  • 3篇2001
共 217 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于拉制石英玻璃管线的方法和装置
在用于拉制石英玻璃管线的已知方法中，向坩埚供给含有SiO<Sub>2</Sub>的起始材料，该起始材料在坩埚中软化，并作为软化的石英玻璃体沿拉制轴线通过在拉制喷嘴的外部部件和内部部件之间的环形间隙而竖直向下拉制成石英玻璃...
R·霍恩H·勒伯M·特罗默N·惠佩R·伯格J·贝克R·格哈特
文献传递
用于生产石英玻璃管的方法
在用于生产石英玻璃管的已知方法中，中空的石英玻璃柱体持续供应到加热区并在其内成区域地软化，并以一定的拉制速度从具有形成的拉制泡的软化区域抽取管丝，并且通过在所希望的分离点分离管丝以管丝件的形式对要生产的管按长度进行切割，...
N·西比斯O·冈茨
文献传递
由用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件及其制造方法
本发明提供用于在EUV光刻中使用的镜面基材的钛掺杂的石英玻璃制成的坯件，其具有待配备反射膜的表面部分并具有光学使用区域CA，在光学使用区域CA上的热膨胀系数CTE具有在所述坯件的厚度上取平均的二维dCTE分布曲线，其具有...
K.贝克S.奥赫斯S.托马斯
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用于接合部件的接合剂、用于接合由硅酸含量高的材料制备的部件的方法,和根据该方法获得的部件组件
在一种通过整体连接而连接由硅酸含量高的材料制备的部件的已知方法中，在部件的连接表面之间形成含SiO<Sub>2</Sub>的接合物料。该接合物料具有对所述硅酸含量高的材料特有的化学组成。基于此，本发明目的在于成本有效地制...
A·莫尔T·赫伯特J·韦伯W·沃德克R·格哈德特
文献传递
通过将二氧化硅灰料体由蒸汽相沉积在基底上制造合成石英玻璃的方法
制造合成石英玻璃的已知方法包括方法步骤：提供液体SiO<Sub>2</Sub>‑原料，其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分，将所述SiO<Sub>2</Sub>‑原料汽化成原料蒸气，将所述原料蒸气转化成SiO<Sub>...
H.法比安J.勒佩尔
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沉积燃烧器及其制造法、用途和用其生产石英玻璃体之法
为了提供以较小制造公差低成本地制造用于合成石英玻璃的沉积燃烧器的方法，且其中，而且，当沉积燃烧器按预期使用时，将要生产的石英玻璃污染的风险较低，本发明提供以下方法步骤：(a)提供石英玻璃的起始圆柱体(40)，用机械的方法...
M·休纳曼
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由石英玻璃制造光学元件的方法
在用于生产由石英玻璃制成的光学元件的常规方法中，在垂直方向上将共轴结构引入加热区，所述共轴结构具有由包括可抽真空内孔的石英玻璃罩管环绕的芯棒，该共轴结构在其中按段加热并且形成拉伸球管，被拉长而获得石英玻璃元件。根据本发明...
R·萨特曼
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氢促进的灰料体的氟化
本发明涉及氟化灰料体的方法，其包括以下步骤：a)提供灰料体，和b)将所述灰料体在(1280-n*250)℃至(1220-n*100)℃的温度下用包含C<Sub>n</Sub>F<Sub>2n+2</Sub>和氢的气体混合...
M.特罗默M.施韦林S.格里姆F.弗勒利希J.基尔希霍夫
制造旋转对称的石英玻璃坩埚的方法和装置
在制造玻璃坩埚(2)的装置(5)中,通过至少两个均匀分布在石英玻璃坩埚(2)外周上的且产生第一电弧和另一道电弧的电极结构(7,8)来分别加热在这里转动的石英玻璃坩埚(2)的壁(13)的一部分(14,15)。通过使用多个电...
J·莱斯特R·格贝尔H·弗里茨
文献传递
在EUV照射下没有膨胀的用于EUV光刻的反射镜毛坯
本发明涉及用于EUV反射镜的衬底，所述衬底具有过零温度的偏离统计分布的变化过程。此外，本发明涉及用于制造用于EUV反射镜的衬底的方法及其使用，其中所述衬底中的过零温度的变化过程与反射镜的运行温度适配，以及涉及在使用这种衬...
K.贝克S.托马斯
文献传递
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