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儒芯微电子材料(上海)有限公司

作品数：28 被引量：0H指数：0
相关机构：沧州信联化工有限公司更多>>
相关领域：化学工程电子电信理学更多>>

合作机构

文献类型

  • 26篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 7篇化学工程
  • 5篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 17篇光刻
  • 15篇光刻胶
  • 11篇树脂
  • 11篇组合物
  • 8篇聚合物树脂
  • 7篇丙烯
  • 7篇丙烯酸
  • 6篇碱溶
  • 5篇丙烯酸酯
  • 4篇溶剂
  • 4篇图案
  • 4篇碱溶性
  • 4篇胶层
  • 3篇电路
  • 3篇直链
  • 3篇烃类
  • 3篇热力学
  • 3篇酯基
  • 3篇醚类
  • 3篇集成电路

机构

  • 28篇儒芯微电子材...
  • 1篇沧州信联化工...

传媒

  • 1篇上海塑料
  • 1篇集成电路应用

年份

  • 2篇2025
  • 5篇2024
  • 4篇2023
  • 3篇2022
  • 4篇2021
  • 5篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2017
共 28 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种交联型丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶
本发明公开了一种交联型丙烯酸酯类共聚物及其光刻胶，通过引入交联型单体，制备出具有交联度可控地三维网状结构的丙烯酸酯共聚物，利用该共聚物制备得到的光刻胶不仅能够满足实际量产工艺的要求(密集的line/space图形在最佳光...
秦龙许箭汪武平耿文练
文献传递
含碱性香豆素结构的聚合物树脂及其光刻胶组合物
本发明提出了含碱性香豆素结构的聚合物树脂及其光刻胶组合物，涉及一系列含碱性香豆素结构的聚合物树脂的合成方法及包含该聚合物树脂的光刻胶材料的制备方法。本发明将碱性香豆素结构引入光刻胶主体树脂中，该树脂既可以满足化学光刻胶基...
许箭刘晓华秦龙汪武平耿文练
一种碱溶性聚合物树脂及其制备方法与应用
本发明公开了一种碱溶性聚合物树脂，其具有如结构式I～V所示的结构单元：<Image file="DDA0002136696850000011.GIF" he="269" imgContent="drawing" imgF...
袁华许箭秦龙汪武平花雷陈一鸣耿文练
文献传递
一种便于取液的光刻胶瓶
本实用新型公开了一种便于取液的光刻胶瓶，包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊，所述外瓶内侧底端对称设置有若干组支撑部，所述支撑部包括弹簧和与弹簧连接的卡爪，所述内囊为圆锥体结构，所述卡爪卡设于内囊外围，所述外瓶上端设置有伸入内...
耿文练
文献传递
碱溶性丙烯酰胺树脂及含其的金属剥离胶组合物
本申请涉及一种碱溶性丙烯酰胺树脂，其由非N‑取代丙烯酰胺单体或其衍生物、N‑取代丙烯酰胺单体或其衍生物、丙烯酸类单体或其衍生物和丙烯酸酯类单体或其衍生物共聚而成。本申请还涉及如上所述的碱溶性丙烯酰胺树脂的制备方法及一种金...
秦龙
光刻胶挥发速率测量装置
本实用新型公开了光刻胶挥发速率测量装置，涉及光刻胶挥发速率测量技术领域，包括称体、位于称体一侧的显示区、安装在称体顶部的底座，底座的内部设有加热板，加热板的顶部设有硅片，硅片的两端且位于底座的内侧设有夹持组件，气泵的输出...
秦龙李文哲汪武平耿文练
一种聚合物树脂及其制备方法与应用
本发明公开了一种聚合物树脂，其具有如结构式I～III所示的结构单元：<Image file="DDA0002086366360000011.GIF" he="561" imgContent="drawing" imgFo...
许箭花雷耿文练
电子束光刻胶组合物及制备方法
本发明提供了一种电子束光刻胶组合物，其主要成分包括卤代丙烯酸酯共聚物和光致产酸剂，所述卤代丙烯酸酯共聚物为卤代丙烯酸酯单体单元和芳香族丙烯酸酯或芳香族烯类单体单元的共聚物。通过引入侧链取代的卤族原子及刚性的芳香环，并选取...
秦龙许箭袁华曾霞刘晓华汪武平耿文练花雷
一种聚合物树脂及其制备方法和金属剥离胶组合物
本发明公开了一种聚合物树脂，其具如下通式：<Image file="DDA0002817247470000011.GIF" he="233" imgContent="drawing" imgFormat="GIF" in...
秦龙耿文练花雷
文献传递
碱溶性丙烯酰胺树脂及含其的金属剥离胶组合物
本申请涉及一种碱溶性丙烯酰胺树脂，其由非N‑取代丙烯酰胺单体或其衍生物、N‑取代丙烯酰胺单体或其衍生物、丙烯酸类单体或其衍生物和丙烯酸酯类单体或其衍生物共聚而成。本申请还涉及如上所述的碱溶性丙烯酰胺树脂的制备方法及一种金...
秦龙
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