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合肥江丰电子材料有限公司
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一种纯钼靶材的加工工艺
本发明提供一种纯钼靶材的加工工艺,所述加工工艺包括:使用刀具对所述纯钼靶材的焊接面进行第一铣加工;使用刀具对所述纯钼靶材的焊接面进行第二铣加工;使用刀具对所述纯钼靶材的外形轮廓进行第三铣加工;使用刀具对所述纯钼靶材的R角...
姚力军
周上尚
王青松
矩形靶材间隙检测方法
一种矩形靶材间隙检测方法,包括:提供矩形靶材和背板,所述矩形靶材固装在所述背板上;提供检测块,将所述检测块固装在所述背板上,所述矩形靶材、检测块位于所述背板的相同侧,且沿所述矩形靶材的长度方向,所述矩形靶材、检测块依次设...
姚力军
潘杰
相原俊夫
王学泽
秦军权
文献传递
长寿命LCD靶材组件及其形成方法
一种长寿命LCD靶材组件及其形成方法,其中LCD靶材组件包括:背板,所述背板包括第一面;位于背板第一面的靶材,所述靶材具有预设厚度,所述靶材包括第二面;基板,所述基板包括第三面,且所述基板第三面与靶材第二面相对,所述基板...
姚力军
潘杰
王学泽
赵子毅
文献传递
一种矩阵一体型靶材的包装防氧化方法
本发明提供一种矩阵一体型靶材的包装防氧化方法,所述防氧化方法包括将矩阵一体型靶材放置于包装材料中,依次进行第一抽真空处理、第二抽真空处理和第三抽真空处理,所述第一抽真空处理、第二抽真空处理和第三抽真空处理前向所述包装材料...
姚力军
胡全
窦兴贤
王青松
一种靶材表面喷砂保护装置
本实用新型提供了一种靶材表面喷砂保护装置,所述靶材表面喷砂保护装置包括靶材上表面保护层、靶材侧面保护板和至少2个靶材侧面夹具,在实际使用过程中,操作人员先通过所述靶材上表面保护层对待喷砂靶材的上表面进行保护,然后通过所述...
姚力军
窦兴贤
王学泽
王青松
杨欢
文献传递
靶材钎焊表面处理的移动装置
一种靶材钎焊表面处理的移动装置,包括限位导轨,所述限位导轨可拆卸的固定在工作台上;若干滚轮,所述滚轮至少为一对,所述滚轮可移动的设置在所述限位导轨上;移动平台,所述移动平台与所述滚轮配合连接,以使所述移动平台在沿所述导轨...
姚力军
潘杰
王学泽
丁向前
文献传递
一种便于与端头连接的一体型旋转靶材
本发明涉及半导体技术领域,涉及一种便于与端头连接的一体型旋转靶材,所述便于与端头连接的一体型旋转靶材包括溅射靶材主体、分别设置于溅射靶材主体两端的设备连接端与端头连接端以及与端头连接端连接的端头;所述端头连接端设置有外丝...
姚力军
窦兴贤
王学泽
王青松
呼雷
文献传递
一种钼靶材的铣削加工方法
本发明提供了一种钼靶材的铣削加工方法,所述铣削加工方法包括:采用铣削刀具对钼靶材的待焊接面进行铣削处理,得到待焊接面凹陷的弧面;所述弧面的深度>0.05mm。本发明采用特定型号的刀具进行铣削处理,并搭配合适的铣削加工参数...
姚力军
王刚
窦兴贤
王青松
一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法
本发明提供一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法,所述方法包括如下步骤:(1)喷砂后靶材经清洗后,先在喷砂后靶材的表面设置一层密封层,所述密封层上具有可开关的抽气孔和通气孔,得到密封后靶材;(2)打开抽气孔和通气孔,向所述通气孔...
姚力军
胡全
窦兴贤
王青松
一种靶材的喷砂方法
本发明提供了一种靶材的喷砂方法,所述喷砂方法包括如下步骤:(1)对靶材的非溅射面进行第一喷砂处理,得到第一喷砂面;(2)第一喷砂面表面覆盖保护层,进行第二喷砂处理,得到第二喷砂面;(3)升温去除第二喷砂面表面的保护层,保...
姚力军
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