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株式会社V技术
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微透镜阵列以及使用该微透镜阵列的扫描曝光装置
在微透镜阵列中,其反转成像位置的六边视野光圈的配置,即,微透镜的配置,在垂直于扫描方向的方向上配置有多个而构成微透镜列。而且关于其3列的微透镜列,微透镜列以使六边视野光圈的三角形部分在扫描方向上重叠的方式分别在垂直于扫描...
水村通伸
渡边由雄
文献传递
曝光方法及曝光装置
本发明提供一种曝光方法及曝光装置。在曝光方法中,当一边向箭头A方向输送被曝光体(8),一边使用光掩模(11)的第一掩模图案组(12)进行的对被曝光体(8)的第一曝光区域(9)的曝光结束时,与被曝光体的输送速度同步地使光掩...
梶山康一
曝光装置和照明单元
本发明涉及通过利用微透镜阵列将掩模上的图案成像在基板上而曝光基板的曝光装置等,并使射出曝光光的照明单元小型化。微透镜阵列(30)具有包含朝向与移动方向(A)相交的方向的排列且以二维方式配置的多个微透镜(31),照明单元具...
梶山康一
水村通伸
畑中诚
文献传递
成膜掩模和成膜掩模的制造方法
本发明包括:树脂薄片(1),其中形成多个贯通开口图案(4),在一面(1a)设有具有可内置多个开口图案(4)大小的开口的框状金属薄膜(5);金属掩模(2),其在薄片(1)的一面(1a)侧与薄片(1)分离而独立地设于与金属薄...
水村通伸
文献传递
投影掩模及激光照射装置
本发明提供一种能够有效地反射激光并抑制激光的能量的吸收,从而提高耐久性的投影掩模。本发明的投影掩模配置在被照射激光的投影透镜,并使激光透过,具备:透过层,其供激光透过;反射膜,其折射率比透过层大;金属膜,其对激光进行遮光...
水村通伸
薄膜晶体管、其制造方法及液晶显示装置
本发明提供包含截止电流小、电位保持特性优异、消耗功率低的同时动作速度也快的低温多晶硅晶体管的薄膜晶体管、该薄膜晶体管的制造方法及使用它的液晶显示装置。该薄膜晶体管是在玻璃基板上形成栅电极、栅极绝缘膜、沟道区、源/漏电极的...
滨野邦幸
文献传递
激光加工装置、激光加工方法
本发明提供一种激光加工装置、激光加工方法,其将激光束聚光成环状并将其聚光位置照射在基板的厚度范围内,使聚光位置向基板的厚度方向及基板的平面方向位移的过程中,以环状的聚光位置的中心进行圆周运动的方式使聚光位置位移,从而能够...
水村通伸
滝本政美
松山将太
文献传递
激光退火方法、装置以及微透镜阵列
本发明提供一种激光退火方法、装置以及微透镜,能够以不同于非晶硅膜中的晶体管形成预定区域的间距的较大间距来构成微透镜阵列,又能够以小于微透镜阵列的排列间距的间距来形成通过对非晶硅膜进行激光退火而产生的微小多晶硅膜区域。第1...
水村通伸
渡边由雄
畑中诚
文献传递
修复用单元、微型LED显示器及修复用单元的制造方法
本发明提供一种修复用单元,该修复用单元是用作缺陷单元的替代品的修复用单元(21a),具备:微型LED(3),其发出从紫外至蓝色波段中的具有特定的光谱的光,在彼此相对的面中的一个面上具有用于发光的电极(31a、31b),在...
柳川良胜
平野贵文
梶山康一
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蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴
提供一种能够在确保蒸发的蒸镀材料的指向性的同时保持较高的成膜速率的蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴。蒸镀源单元(1)是一种使蒸镀材料蒸镀到基板的表面上的蒸镀源单元(1),其具有包括喷出口(21)的喷嘴(20),所述喷出口...
塩野忠久
长田佑介
金子滉明
若林雅
铃木裕二
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