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沈阳市科技计划项目(108155202200)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王亮胡静涛更多>>
相关机构：沈阳化工大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：沈阳市科技计划项目国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇预测控制
  • 1篇模型预测控制
  • 1篇过程控制
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体制造
  • 1篇测控
  • 1篇程控制

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...
  • 1篇沈阳化工大学

作者

  • 1篇胡静涛
  • 1篇王亮

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光刻过程RtR控制方法研究进展分析被引量：1
2011年
首先对光刻过程和RtR(Run-to-Run)控制技术的产生背景进行了介绍,对统计过程控制的不足进行了分析并给出了RtR控制器的一般结构。然后从过程建模和控制算法两个角度对三种主要的光刻过程RtR控制器EWMA,MPC和ANN进行了综述和评价,对这三种控制器在非线性控制、单变量控制、多变量控制的适用性和优化控制效果进行了比较分析。最后指出基于MPC的非线性多变量控制器将成为光刻过程RtR控制器的主要研究方向。
王亮胡静涛
关键词：半导体制造过程控制模型预测控制
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共1页<1>
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