应用光学国家重点实验室开放基金(O9Q33FQ091)
- 作品数：7 被引量：53H指数：4
- 相关作者：彭忠琦卢启鹏马磊高飒飒龚学鹏更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金国家重大科学工程更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学更多>>
- 同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿被引量：10
- 2011年
- 为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21μrad减小到0.86μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。
- 卢启鹏高飒飒彭忠琦
- 关键词：面形误差
- X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析被引量：4
- 2012年
- 为缩短实验前的等待时间,减小热辐射对光学元件的损伤以及热变形对实验的影响,充分利用同步辐射X射线获得稳定有效的实验结果,对X射线干涉光刻(XIL)光束线偏转聚焦系统进行了热-结构耦合分析。针对上海光源(SSRF)的光源参数,计算偏转聚焦系统所受的热功率密度分布,在此基础上对偏转聚焦系统在相同载荷、不同边界条件下进行了瞬态热平衡分析,得到双柱面镜M1、M2达到热平衡所需的时间、温度分布,并做了比较分析。结果表明,对XIL光束线上偏转聚焦系统的M1、M2采用间接水冷方式可削弱热载效应,达到热平衡的时间分别由8677s和7850s缩短到960s和840s,最高温度分别由182.73℃和129.73℃降低到57.94℃和47.29℃,此时的最大面形误差分别为7.23μrad和9.24μrad,缩短了从开机到实验的等待时间,在提高实验效率的同时能够获得稳定有效的实验结果。
- 高飒飒卢启鹏彭忠琦龚学鹏
- 关键词：X射线光学热平衡面形误差
- 并联机构的发展及应用被引量：24
- 2011年
- 绍了国内外并联机构的发展,通过与串联机构的比较,详细说明了并联机构的特点及其在各个领域中的应用。六杆并联机构是并联机构的一种特殊形式,文中具体阐述了其工作原理,并结合上海第三代同步辐射装置软X谱学显微光束线中使用的特殊六杆并联调节机构,对其特点做进一步说明。
- 彭忠琦
- 关键词：并联机构
- 压弯机构在同步辐射光束线中的应用被引量：4
- 2011年
- 同步辐射光束线中压弯机构的主要的压弯方式有仿型弯曲、压电弯曲和机械弯曲,由于压弯原理不同,各种压弯机构的应用场合也不同。目前,最常用的压弯方式是机械压弯,主要有三点压弯、四点压弯、双臂结构、单臂结构、无臂结构和柔性铰链等。其中四点结构既可用于压弯长镜,又可用于压弯短镜,零部件加工与安装方便,且力矩大小可调,在同步辐射光束线中得到了广泛应用。
- 卢启鹏彭忠琦
- 上海光源软X射线谱学显微光束线的进展与应用
- 2011年
- 介绍了国外与国内同步辐射装置及第三代同步辐射光源进展,回顾了国内软X谱学显微光束线的发展过程,叙述了上海同步辐射光源及软X谱学显微光束线的进展。展望了软X谱学显微光束线的应用,其为开辟新科学、新领域发挥了积极推动作用。
- 彭忠琦
- 关键词：上海光源软X射线高分辨率
- 变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测被引量：15
- 2010年
- 针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测,结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求。在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率,测试结果好于10000,进一步验证了该检测方法的有效性。
- 卢启鹏马磊彭忠琦
- 关键词：转角精度
- 谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测被引量：4
- 2012年
- 为提高上海光源搭建的国内首条软X射线谱学显微光束线站的整体性能,分析了其分光装置-变包含角平面光栅单色仪在波长扫描过程中影响谱学显微光束线光斑水平漂移的各个因素,推导出了各因素与光斑水平漂移的传递关系,并结合具体要求进行了误差分配。针对光斑水平角漂移重复精度的检测,采用自准直原理,构建了测试系统。利用该系统,完成了谱学显微光束线站光斑水平漂移重复精度的离线检测,其结果为0.67″,满足设计指标1″的要求。对安装调试后的束线进行了总体性能测试,结果均满足谱学显微设计和使用要求。由此表明,提出的对谱学显微光束线光斑水平漂移误差来源的分析及检测方法,有效保证了束线性能的实现。
- 马磊卢启鹏彭忠琦
- 关键词：误差分析
