国家自然科学基金(59835180)
- 作品数：42 被引量：512H指数：14
- 相关作者：董申陈明君李旦张飞虎梁迎春更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学北京有色金属研究总院哈尔滨医科大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金哈尔滨工业大学校基金资助哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术理学更多>>
- 微加工中原子力显微镜金刚石针尖的磨损研究被引量：4
- 2001年
- 考察了用原子力显微镜对单晶硅进行微加工时金刚石针尖的磨损行为 ,对针尖的磨损率、磨损机理以及针尖磨损对微加工过程的影响进行了实验研究和理论分析 .结合对单晶硅所进行的摩擦磨损试验 ,应用计算模型得出针尖的磨损率为 1.7× 10 - 1 0 m m3/(N·m) ;通过对针尖磨损特征的原子力显微镜观察 ,结合金刚石针尖上应力集中的有限元计算及单位切削力计算 。
- 赵清亮粱迎春董申
- 关键词：原子力显微镜单晶硅
- 基于原子力显微镜的纳米加工研究
- 以原子力显微镜(AFM)作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石针尖的纳米加工实验,运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征进行了系统的研究和分析,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的...
- 赵清亮董申张秀利
- 关键词：原子力显微镜有限元方法
- 文献传递
- 应用原子力显微镜对单晶硅进行纳米级加工被引量：4
- 2001年
- 以原子力显微镜 (AFM)作为加工工具 ,基于金刚石针尖对单晶硅进行了纳米加工实验 ,对纳米加工区域特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征 ,进行了系统的研究和分析 ,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法。在此基础上 ,应用有限元方法 (FEM )对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的作用机制进行了计算仿真。
- 赵清亮梁迎春王景贺王洪祥
- 关键词：原子力显微镜有限元方法单晶硅
- 金刚石刀具锋锐轮廓几何评定方法研究被引量：6
- 2002年
- 金刚石刀具刃口的锋锐轮廓是影响超精密加工的一个重要参数。在对金刚石刀具刃口轮廓三维测量的基础上 ,提出了精密评定切削刃锋锐轮廓的几种新方法。其中对圆评定方法、椭圆评定方法和抛物线评定方法进行了研究 ,实验结果表明这些方法不仅具有较高的评定精度 ,而且还有利于对超精密微切削机理进行分析研究。
- 孙涛王洪祥董申
- 关键词：金刚石刀具切削刃
- 单晶金刚石车刀在超精密单点切削中的磨损分析被引量：19
- 2002年
- 通过金刚石单点切削试验 ,考察了对无氧铜、铝合金和单晶硅进行超精密单点切削时金刚石刀具的磨损行为 ;分析了刀具磨损对被加工材料表面粗糙度的影响 ;并应用光学显微镜和原子力显微镜对刀具的不同磨损形态进行了宏观和微观观测 ;结合热力学、化学反应磨损和机械磨损的分析方法 ,对金刚石车刀在切削 3种材料时的不同磨损机理进行了实验研究和理论分析 .结果表明 ,为了减轻甚至消除金刚石刀具的磨损 ,在切削铜时应使用少氧或无氧的切削液 ;在切削铝时应在刀具表面涂覆润滑剂或隔离膜 ;在切削单晶硅时应保证低温和少氧环境 .
- 赵清亮陈明君梁迎春董申
- 关键词：磨损
- 脆性材料超精密磨削时影响表面质量因素的研究被引量：37
- 2001年
- 首先从理论上分析了脆性材料在超精密磨削过程中影响表面质量的各种主要因素。然后针对影响脆性材料已加工表面质量的各种主要因素作了大量的试验研究。研究结果表明，对于脆性材料，砂轮的平均磨粒尺寸对已加工表面质量的影响很大。试验证明：当采用超精密磨床并在Ｖｓ＝１２００ｍ／ｍｉｎ、ｆ＝０—２００μｍ／ｒ、ａｐ＝０．１—１０μｍ的磨削条件下进行磨削时，只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸小于 ２０μｍ，才能在塑性磨制模式下加工出高质量的超光滑表面。
- 陈明君董申李旦张飞虎
- 关键词：脆性材料金刚石砂轮
- 微晶玻璃塑性域超精密磨削加工的研究被引量：4
- 2002年
- 本文对微晶玻璃脆性材料的超精密磨削加工作了大量的实验研究。研究结果表明 ,对于微晶玻璃等脆性材料 ,其表面粗糙度主要与砂轮的平均磨粒尺寸、砂轮速度、进给量及磨削深度等因素有关。当采用超精密磨床并在 vs=12 0 0 m/ min、f=0～2 0 0μm/ rev、ap=0 .1～ 10μm条件下磨削时 ,只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于 2 0μm,才能在塑性磨削模式下加工出高质量的光滑表面 ,其磨削后的表面粗糙度为 rms:8.0 2 1nm、Ra:6.2 0 0 nm。
- 陈明君张飞虎董申
- 关键词：微晶玻璃
- 亚微米超精密车床的振动模糊主动控制被引量：21
- 2000年
- 环境振动是影响亚微米超精密机床加工精度的一个重要因素 ,为此提出了将模糊控制系统与空气弹簧隔振系统相结合的方法 ,用于亚微米超精密车床的振动控制。空气弹簧的主要作用是隔离较高频率的环境振动并支承车床 ;模糊主动控制则是有效地控制低频环境振动的影响。针对机床系统振幅微小且有自激振动的特点 ,采用了带有两个调整因子的二维模糊控制器 ,其输入为速度和加速度信号 ,输出为作动器的控制电压。在 HCM- 1亚微米超精密车床上进行铅垂方向的振动控制实验 。
- 盖玉先董申李旦
- 关键词：精密车床振动
- 机械振动主动控制技术的研究现状和发展综述被引量：83
- 2001年
- 重点介绍振动主动控制技术在机械工程领域的应用。整机的振动主动控制和转子的振动主动控制是该领域的两个主要方面。在简单介绍振动主动控制原理和常用的传感器与作动器的基础上 ,概述了整机振动主动控制的发展情况 ,较系统地总结了转子常用的控制技术 ,并综述了主动控制常用的控制方法 ,同时简要介绍了振动主动控制在机械工程领域其他方面的应用情况。对微幅振动主动控制亦作了介绍。最后 。
- 王加春李旦董申
- 关键词：机械振动高速转子控制方法
- 超精密加工表面微观形貌非接触在线检测系统被引量：1
- 2000年
- 介绍了专门应用于超精密车床在线检测加工表面微观形貌的检测系统。一种新式高分辨率同轴式激光轮廓仪与超精密车床的有机结合 ,突破了传统的必须卸下工件才能对其进行检测的限制 ,实现了加工与检测的一体化 ,达到了检测真正服务于加工的目的。介绍了激光轮廓仪的原理、结构以及检测系统的工作原理。实验结果表明 ,在利用超精密车床精密气浮导轨作为激光轮廓仪工作台的条件下 ,测量车削加工表面微观形貌时 ,在高度方向上的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于 0 .1 nm。
- 赵清亮李旦孙涛董申
- 关键词：在线检测非接触测量
