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安徽省高校省级自然科学研究项目(KJ2008B09ZC)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：郭守月孙兆奇曹春斌更多>>
相关机构：安徽农业大学安徽大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇透射
  • 1篇透射谱
  • 1篇ITO薄膜

机构

  • 1篇安徽大学
  • 1篇安徽农业大学

作者

  • 1篇曹春斌
  • 1篇孙兆奇
  • 1篇郭守月

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ITO薄膜的透射谱解谱被引量：2
2009年
用直流磁控溅射法在普通载波片上制备了厚度130nm左右的ITO薄膜,分别在100、200、300和400℃下退火1h。测量了退火前后几个样品的XRD和透射率,利用椭偏解谱方法对几个样品的透射谱进行建模及解谱,结果表明,未退火样品为非晶结构,退火后为多晶结构;退火温度在300℃以下的样品,随着退火温度的升高其n和k值都有明显的降低,退火温度为400℃的样品n和k值却有所增大。利用吸收系数得到了几个样品的直接带隙,其变化范围在3.7eV^3.9eV之间。
郭守月曹春斌孙兆奇
关键词：透射谱ITO薄膜
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