国家自然科学基金(50075039)
- 作品数：7 被引量：45H指数：3
- 相关作者：左敦稳王珉黎向锋卢文壮宋胜利更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- P型掺杂金刚石厚膜的电火花加工被引量：1
- 2005年
- CVD金刚石具有和天然金刚石相近的一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在航空、航天、国防等高科技领域具有广阔的应用前景。但是,普通CVD金刚石膜是绝缘体,无法直接进行电加工。本文在分析了电火花加工半导体材料去除速率的基础上,通过掺硼对CVD金刚石厚膜进行半导体改性,继而实现了其电火花加工。通过研究,建立了掺硼金刚石厚膜电火花加工去除速率的经验公式。最后,通过Raman和SEM分析对CVD金刚石厚膜的电火花加工机理进行了初步探讨。
- 曹振中左敦稳黎向锋卢文壮
- 关键词：电火花加工去除速率掺硼
- CVD金刚石厚膜电加工表面粗糙度分析被引量：3
- 2005年
- 由于化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)金刚石厚膜的加工极其困难,本文提出了一种金刚石厚膜精加工的新工艺,即通过掺杂使金刚石膜导电,利用电火花对掺杂金刚石膜进行加工。掺杂后金刚石厚膜电阻率范围达到0.00243-0.0634W×cm,研究了电参数对金刚石厚膜电火花加工表面粗糙度和材料去除速率的影响,结果表明二者都随着峰值电流和脉冲宽度的增大而增大。通过回归计算得出了电火花加工表面粗糙度的经验公式,二元回归分析的相关系数达0.96,证实了经验公式的有效性。
- 曹振中左敦稳黎向锋卢文壮
- 关键词：电加工表面粗糙度掺硼
- 大面积HFCVD系统衬底温度场建模与分析被引量：13
- 2003年
- 以大面积HFCVD系统为研究对象,应用传热学理论建立了衬底温度场模型.根据金刚石成膜过程中对衬底温度大小及均匀性的工艺要求,对影响衬底温度场的参数进行了优化设计.最后,应用灵敏度法综合分析了各参数对衬底温度场的影响程度.
- 宋胜利左敦稳王珉
- 关键词：温度场传热学金刚石膜灵敏度
- 大面积B掺杂CVD金刚石膜的制备研究被引量：22
- 2004年
- 研究了采用B2O3作为掺杂源以EACVD法沉积大面积掺杂VCD金刚石膜,用SEM、Raman、二次离子质谱仪、四探针电阻仪等对B掺杂金刚石膜进行了分析。结果表明直径达100mm的大面积B掺杂金刚石膜的晶粒分布均匀,非金刚石碳含量较少,生长速率达到10μm／h以上;B掺杂改变了金刚石膜的成分和结构,高浓度掺杂可以细化晶粒,在高浓度掺杂的膜中存在一定的非晶态碳;金刚石膜中B的含量在一定范围内随着掺杂源浓度的增加而正比增加;金刚石膜的电阻率随着掺杂源B2O3的浓度的增加而下降,当掺杂达到一定浓度时,金刚石膜的电阻率逐渐趋向稳定。
- 卢文壮左敦稳王珉黎向锋徐锋褚向前
- 关键词：硼掺杂金刚石膜化学气相沉积法电阻率
- 计算机控制CVD金刚石生长系统的研究被引量：6
- 2003年
- 在CVD金刚石生长系统的基础上设计开发了计算机控制系统,对金刚石生长过程中各物理信号进行监测与控制,实现了无人值守下金刚石的生长。详细介绍了计算机控制的结构和软件实现方法。最后介绍了在计算机控制之下金刚石厚膜,纳米金刚石薄膜以及复合膜的生长。结果表明该系统运行稳定、可靠,控制效果明显优于人工控制,具有非常广泛的应用价值。
- 朱胤左敦稳王珉卢文状宋胜利
- 关键词：人造金刚石化学气相沉积晶体生长计算机控制系统CVD
- 掺硼CVD金刚石的电加工表面分析被引量：2
- 2004年
- 金刚石具有一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在高科技领域具有广阔的应用前景。普通CVD金刚石膜是高度绝缘的,不能采用如电火花等加工导电聚晶金刚石(PCD)的方法和设备对其进行加工。本文通过掺硼实现了金刚石膜的导电,开展了电火花成型和线切割的实验研究,并通过SEM、Raman分析和粗糙度测量对加工后的表面进行了分析。
- 曹振中褚向前黎向峰左敦稳
- 关键词：导电电火花成型线切割粗糙度
- 大面积热丝化学气相沉积系统衬底温度自回归模糊神经网络控制技术被引量：2
- 2005年
- 建立了大面积热丝化学气相沉积衬底温度控制系统的数学模型,提出了一种基于自回归模糊神经网络控制策略,并进行了计算机仿真和试验研究。结果表明,系统具有较强的自适应、自学习能力,对设定轨迹具有良好的跟踪性能,可很好地满足金刚石膜沉积过程中系统的控制性能要求。
- 宋胜利左敦稳徐锋王珉
- 关键词：热丝化学气相沉积衬底温度模糊神经网络自动控制
