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江西师范大学青年成长基金(2393)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：罗文崴艾书彬叶志清吴木生邓海东更多>>
相关机构：华南农业大学江西师范大学更多>>
发文基金：江西师范大学青年成长基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电学
  • 1篇电学特性
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇铝掺杂
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇华南农业大学
  • 1篇江西师范大学

作者

  • 1篇邓海东
  • 1篇吴木生
  • 1篇叶志清
  • 1篇艾书彬
  • 1篇罗文崴

传媒

  • 1篇江西师范大学...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铝掺杂氧化锌薄膜电学特性的研究被引量：1
2009年
利用脉冲激光沉积法,在氧气氛下(氧分压为20 Pa)以硅为基体制备了ZnO∶Al透明导电膜.靶材选用(ZnO)1-x(Al2O3)x陶瓷靶,沉积过程中基体温度保持在600℃.通过对膜进行霍尔效应测量及SEM、XRD测试分析,研究了靶材中的化学配比(掺杂比)对膜的电学特性的影响.结果表明:掺杂比影响着膜的电学性能和膜的结晶状况.掺杂铝的质量分数为1.37%时所获得的ZnO薄膜具有最小的电阻率.
吴木生艾书彬罗文崴邓海东叶志清
关键词：脉冲激光沉积氧化锌薄膜铝掺杂电学特性
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