您的位置： 专家智库 > >

上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划(06XD14037)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：李刚朱壮晖姚源隋晓红张华更多>>
相关机构：中国科学院上海交通大学中国科学院研究生院更多>>
发文基金：上海市自然科学基金上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微电极阵列
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇钨丝

机构

  • 1篇上海交通大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇孙晓娜
  • 1篇周洪波
  • 1篇赵建龙
  • 1篇张华
  • 1篇隋晓红
  • 1篇姚源
  • 1篇朱壮晖
  • 1篇李刚

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
钨丝微电极阵列的简易制备方法
2009年
本文提出了一种简易、低成本的钨丝微电极阵列制作工艺和方法。该方法采用MEMS工艺制作的玻璃模具实现钨丝阵列的精密有序排列,同时,在钨丝电极表面涂覆一层光敏性的聚酰亚胺作为绝缘层,结合"双面光刻"技术和电化学腐蚀技术实现电极位点大小和电极丝几何尺寸的精确控制。最后,通过注模、光刻制作SU-8固定座体完成钨丝微电极阵列的组装固定。整个制作工艺简单快速,且玻璃模具可重复使用,大大降低了制作成本。此外,本文还测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性。
姚源李刚张华周洪波孙晓娜朱壮晖隋晓红赵建龙
关键词：微细加工钨丝微电极阵列
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0