山东省星火计划(2011XH06025)
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 相关作者：于金伟更多>>
- 相关机构：潍坊学院更多>>
- 发文基金：山东省科技发展计划项目山东省星火计划国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 田口试验设计在键合工艺参数优化中的应用被引量：5
- 2012年
- 为提高微机电系统(MEMS)封装引线键合的可靠性和经济性,引入了镍钯金印刷电路板(PCB),但由于其保护皮膜中钯层的加入,键合工艺参数也需随之改变,该文运用试验设计(DOE)中的田口试验设计方法,找到了针对新型镍钯金皮膜的最优化键合工艺参数,根据优化结果,改进了键合工艺参数设置,成功地将镍钯金PCB应用到MEMS封装工艺中,不但提高了产品的可靠性,还降低了原材料成本,取得了良好的经济效益。
- 于金伟
- 关键词：键合MEMS
- 基于MEMS的复合测量系统线性及偏倚研究
- 2012年
- 介绍了测量系统偏倚及线性分析的概念及方法,通过运用Minitab软件对微机电系统(MEMS)微传声器频响、灵敏度测量系统的偏倚及线性进行了分析,提出了复合测量系统的概念,并对此进行了有效分析,根据研究结果,找到了运用整体偏倚值对测量系统进行修正的方法,并用Minitab对改善后的测量系统进行了预测,应用于生产实际后,提高了MEMS微传声器测量系统测试数据的可靠性。
- 于金伟
- 关键词：测试数据偏倚
