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安徽省高校省级自然科学研究项目(KJ2009A006Z)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：吕建国宋学萍孙兆奇黄飞更多>>
相关机构：合肥师范学院安徽大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能表征
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇射频磁控溅射...
  • 1篇射频溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇红外
  • 1篇红外吸收
  • 1篇PL谱
  • 1篇SIO2薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇安徽大学
  • 1篇合肥师范学院

作者

  • 1篇黄飞
  • 1篇孙兆奇
  • 1篇宋学萍
  • 1篇吕建国

传媒

  • 1篇安徽大学学报...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频磁控溅射制备SiO_2薄膜及性能表征被引量：3
2010年
采用射频磁控溅射技术,制备4种不同溅射时间的SiO2薄膜.用XRD、PL、FTIR、UV-Vis等对薄膜的微结构、发光、红外吸收以及透、反射进行表征.结果表明:SiO2薄膜仍呈四方晶体结构,平均晶粒尺寸在17.39～19.92nm之间;在430nm附近出现了发光峰,在1049～1022cm-1之间出现了明显的红外吸收峰,且随着溅射时间的增加发生红移;在可见光范围内平均透射率大于85%.
宋学萍黄飞吕建国孙兆奇
关键词：SIO2薄膜射频溅射PL谱红外吸收
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