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北京市优秀人才培养资助(20061D0500700168)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：卜景鹏缪旻赵立葳更多>>
相关机构：北京信息工程学院北京大学中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：北京市教委科技发展计划北京市科技新星计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇低通
  • 1篇低通滤波器
  • 1篇调谐
  • 1篇调谐滤波器
  • 1篇射频微机电系...
  • 1篇体硅
  • 1篇体硅工艺
  • 1篇椭圆低通滤波...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机械
  • 1篇滤波器
  • 1篇可调
  • 1篇可调节
  • 1篇可调谐
  • 1篇可调谐滤波器
  • 1篇硅工艺

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇北京信息工程...
  • 1篇中国科学院电...

作者

  • 1篇赵立葳
  • 1篇缪旻
  • 1篇卜景鹏

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种基于体硅工艺的微机械可调节椭圆低通滤波器被引量：2
2008年
提出了一种椭圆低通可调滤波器的调谐方法,即通过调节第一传输零点(FTZ)来改变3dB截止频率Tc。解析计算表明,小范围内改变FTZ既可调节Tc和滚降速率,又能保证通带和阻带的特性基本不变。作者提出FTZ的移动可由串联谐振支路处容性MEMS开关的分布加载来实现,并基于微扰法求出器件中心谐振频率及特性的变化规律。本文相应设计了Tc为16GHz的7阶步进式滤波器。高频有限元全波仿真表明,每加载一个MEMS开关,Tc改变约1.5GHz,损耗特性则几乎不变。这证明了理论分析方法有较高的准确性,而且器件设计具有数字化调节能力和较出色的微波性能。这种方法也可用于高通和带通滤波器。论文还介绍了器件的体硅微加工流程及MEMS开关的初步加工结果。
缪旻卜景鹏赵立葳
关键词：射频微机电系统可调谐滤波器椭圆低通滤波器
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