中国博士后科学基金(201003558)
- 作品数：2 被引量：11H指数：2
- 相关作者：王耀民张朝阳毛卫平李中洋更多>>
- 相关机构：江苏大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家教育部博士点基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信机械工程更多>>
- 激光冲击效应下的力学电化学微细刻蚀加工被引量：8
- 2012年
- 在所构建的纳秒脉冲激光电化学加工系统中,利用激光辐照和脉冲电化学刻蚀复合的方法对铝合金进行了加工试验,研究了激光穿过溶液作用于物质时产生的力效应和电化学效应对加工质量的影响。试验结果表明:高能脉冲激光透过电解液辐照在工件表面时,激光在电解液中产生的冲击波力效应和射流冲击力效应会使工件发生弹性变形,从而改变电极电势,提高电流密度,加速了对工件的刻蚀。激光产生的力效应能够去除加工区的钝化层,使其发生电化学反应,而非加工区不发生反应,从而显著增强了电化学的定域蚀除能力。最后,利用力学电化学效应,在浓度为0.5mol/L的NaNO3溶液中实现了线宽140μm左右、深宽比较大的微细刻蚀加工,获得了较好的加工质量和成形精度。
- 张朝阳李中洋王耀民毛卫平
- 关键词：脉冲激光激光冲击电化学刻蚀
- 纳秒激光电化学复合掩模的微细加工被引量：3
- 2012年
- 在激光传输光路中加入掩模对激光束进行空间调制,采用纳秒脉冲激光器、纳秒脉冲电源和1 mol/L的NaNO3电解液对304不锈钢进行掩模微刻蚀加工试验研究。利用伏安法测定304不锈钢阳极电流随平均电压的变化规律;选用平均电压1.5 V、脉冲频率2.0 MHz、脉冲宽度60 ns、激光能量160 mJ的工艺参数,在所构建的试验系统中,分别进行了激光电化学复合掩模和盐溶液中的激光掩模加工试验。结果表明:在阳极钝化区内,纳秒脉冲激光电化学复合加工能够显著提高加工速率和加工表面质量,实现了线宽约为130μm、热影响区小的微细刻蚀加工,证实了纳秒脉冲激光电化学掩模加工在微细加工中具有很大潜力。
- 王耀民张朝阳李中洋毛卫平
- 关键词：纳秒脉冲掩模微细加工
