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国家自然科学基金(1674085)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：何乃霞孔德见程传福更多>>
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相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇各向异性
  • 1篇傅立叶变换
  • 1篇参量

机构

  • 1篇山东师范大学

作者

  • 1篇程传福
  • 1篇孔德见
  • 1篇何乃霞

传媒

  • 1篇山东师范大学...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
各向异性随机表面参量的光散射测量被引量：1
2010年
用原子力显微镜对粗糙硅表面进行了形貌测量，发现其高度分布的各向异性，根据光场分布特点，结合晶片样品表面的散射方位曲线，在入射角是75°的情况下，沿着散射方位曲线测量了样品表面的光散射轮廓，引入自仿射分形随机表面模型，利用傅立叶变换法对光的散射轮廓进行定量分析，成功提取了随机表面参量，并与在原子力显微镜下测量样品表面高度分布经计算所得的数据相比较，验证所得参量的正确性．
孔德见何乃霞程传福
关键词：傅立叶变换
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共1页<1>
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