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广州市科技计划项目([2005]Z3-D2031)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：李赟陈俊芳向鹏飞蒙高庆胡社军更多>>
相关机构：华南师范大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝
  • 1篇等离子体辅助
  • 1篇电子枪
  • 1篇蒸发制备
  • 1篇ALN薄膜

机构

  • 1篇华南师范大学

作者

  • 1篇符斯列
  • 1篇吴先球
  • 1篇胡社军
  • 1篇蒙高庆
  • 1篇向鹏飞
  • 1篇陈俊芳
  • 1篇李赟

传媒

  • 1篇华南师范大学...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN薄膜及等离子体参数诊断被引量：1
2006年
采用射频TCP(Transverse coup led p lasm a)等离子体辅助电子枪蒸发技术首次在室温下制备了氮化铝薄膜,用傅立叶变换红外光谱仪分析了氮化铝薄膜红外光谱的特性.利用朗缪尔静电单探针诊断了射频TCP离子束辅助电子枪蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度的空间分布规律,并分析了气压对等离子体分布的影响.离子源口等离子体密度较大,但分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小,分布趋向于均匀.
向鹏飞陈俊芳蒙高庆胡社军吴先球符斯列李赟
关键词：氮化铝
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