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博士科研启动基金(J02048)
作品数:
2
被引量:6
H指数:2
相关作者:
陈新亮
耿新华
赵颖
薛俊明
张德坤
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种子层诱导法低温生长绒面结构ZnO薄膜
研究了ITO种子层诱导生长ZnO-TCO薄膜的微观结构和光电性能变化。XRD和SEM的研究结果表明,具有ITO种子层的未掺杂ZnO薄膜具有(110)峰特征的绒面结构。ITO种子层一方面降低了MOCVD技术生长ZnO薄膜的...
陈新亮
张德坤
薛俊明
孙建
赵颖
耿新华
关键词:
MOCVD
太阳电池
文献传递
太阳电池用绒面ZnO-TCO薄膜制备技术及特性的研究进展
被引量:4
2009年
概括阐述了薄膜太阳电池用绒面结构ZnO透明导电薄膜(ZnO-TCO)方面的最新研究进展。绒面结构ZnO-TCO薄膜可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本。磁控溅射技术和MOCVD(LP-MOCVD/LPCVD)技术是制备绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如"弹坑"状和"类金字塔"状表面)的主流生长技术,而喷雾热分解技术则是正在开发的非真空法低成本工艺路线。论述了2种主流技术生长ZnO-TCO薄膜的发展历程,并重点讨论了近期关于绒面ZnO-TCO薄膜微观结构、电学以及光学等特性与工艺关系的研究结果。进一步降低成本和实现大面积产业化是绒面ZnO-TCO薄膜拓展应用的发展趋势。
陈新亮
薛俊明
赵颖
耿新华
关键词:
ZNO薄膜
薄膜太阳电池
绒面结构ZnO薄膜及其表面处理
被引量:2
2008年
本文制备出(110)峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO:B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术。研究表明,绒面结构ZnO:B薄膜具有"类金字塔"晶粒形状;处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大。适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池。
陈新亮
薛俊明
张德坤
蔡宁
张晓丹
赵颖
耿新华
关键词:
MOCVD
湿法刻蚀
太阳电池
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