尹康达
作品数: 4被引量:25H指数:3
  • 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
  • 所在地区:天津市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项

相关作者

王辰伟
作品数:124被引量:169H指数:6
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性抛光液
刘玉岭
作品数:481被引量:763H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
郑伟艳
作品数:8被引量:37H指数:4
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
王胜利
作品数:60被引量:79H指数:5
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
岳红维
作品数:11被引量:16H指数:3
供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所
研究主题:化学机械平坦化 CMP 铜布线 铜 测试仪器