-
尹康达
-

-

- 所属机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项
相关作者
- 王辰伟

- 作品数:124被引量:169H指数:6
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性抛光液
- 刘玉岭

- 作品数:481被引量:763H指数:13
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 郑伟艳

- 作品数:8被引量:37H指数:4
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题:CMP 铜布线 碱性抛光液 化学机械平坦化 碱性
- 王胜利

- 作品数:60被引量:79H指数:5
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
- 岳红维

- 作品数:11被引量:16H指数:3
- 供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所
- 研究主题:化学机械平坦化 CMP 铜布线 铜 测试仪器